中国科学院光电技术研究所2023年4至6月政府采购意向-微纳加工设备框架装调、配套工艺研发及配套环控-C010301工程和技术基础科学研究服务-预算金额1900.000000万元(人民币)
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中国科学院光电技术研究所2023年4至6月政府采购意向-微纳加工设备框架装调、配套工艺研发及配套环控-C010301工程和技术基础科学研究服务-预算金额1900.000000万元(人民币)
| 微纳加工设备框架装调、配套工艺研发及配套环控 | |
| 项目所在采购意向： | (略) 光电技术研究所2023年4至6月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 光电技术研究所 |
| 采购项目名称： | 微纳加工设备框架装调、配套工艺研发及配套环控 |
| 预算金额： | 1900.*万元(人民币) |
| 采购品目： | C*工程和技术基础科学研究服务 |
| 采购需求概况： | 具备微纳加工设备框架装调、配套工艺研发及配套环控的场地、设备条件和人员。装调工作包括减震地基的减震性能测试、整机减震系统装调与测试、整机框架系统装调及减震性能测试等；配套工艺研发工作包括在晶圆上清洗、污染检测、镀膜、涂胶、显影、结构测试、刻蚀等工艺研发。 |
| 预计采购时间： | 2023-06 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 微纳加工设备框架装调、配套工艺研发及配套环控 | |
| 项目所在采购意向： | (略) 光电技术研究所2023年4至6月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 光电技术研究所 |
| 采购项目名称： | 微纳加工设备框架装调、配套工艺研发及配套环控 |
| 预算金额： | 1900.*万元(人民币) |
| 采购品目： | C*工程和技术基础科学研究服务 |
| 采购需求概况： | 具备微纳加工设备框架装调、配套工艺研发及配套环控的场地、设备条件和人员。装调工作包括减震地基的减震性能测试、整机减震系统装调与测试、整机框架系统装调及减震性能测试等；配套工艺研发工作包括在晶圆上清洗、污染检测、镀膜、涂胶、显影、结构测试、刻蚀等工艺研发。 |
| 预计采购时间： | 2023-06 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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