上海交通大学2023年5月政府采购意向-有机物化学气相沉积设备-A02330300电子工业生产设备-预算金额220.000000万元(人民币)
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上海交通大学2023年5月政府采购意向-有机物化学气相沉积设备-A02330300电子工业生产设备-预算金额220.000000万元(人民币)
| 有机物化学气相沉积设备 | |
| 项目所在采购意向： | 上海交通大学2023年5月政府采购意向 |
| 采购单位： | 上海交通大学 |
| 采购项目名称： | 有机物化学气相沉积设备 |
| 预算金额： | 220.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*电子工业生产设备 |
| 采购需求概况： | 可在高深宽比结构上沉积疏水有机物薄膜。同时具有普通的原子层沉积能力。具有5个蒸气传输管道, 包含:a.4个标准钢瓶蒸气传输管道b.1个气泡式钢瓶蒸气传输管道1.25个钢瓶卡匣模块, 具有温度传感器, 加热器及过热自动断电保护功能, 包含:a.4个标准钢瓶卡匣模块b.1 个气泡式钢瓶卡匣模块1.35 个钢瓶, 搭配手动阀门, 包含: a.4个标准钢瓶及化学前驱体b.1 个气泡式钢瓶卡及化学前驱体1.4厂务端电源, 压缩空气进口及废气排放接口1.5内建无线射频等离子体生成器1.6等离子体生成器氧气入口1.7微软WINDOWS电脑，预先安装执行软件1.8电脑显示屏幕，鼠标及键盘1.9干式真空泵1.10 包含冷水机一台1.11 工作状态腔内真空度：≤ 2Pa (~0.015Torr)，到达以上真空度需求时间 < 10分钟 |
| 预计采购时间： | 2023-05 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 有机物化学气相沉积设备 | |
| 项目所在采购意向： | 上海交通大学2023年5月政府采购意向 |
| 采购单位： | 上海交通大学 |
| 采购项目名称： | 有机物化学气相沉积设备 |
| 预算金额： | 220.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*电子工业生产设备 |
| 采购需求概况： | 可在高深宽比结构上沉积疏水有机物薄膜。同时具有普通的原子层沉积能力。具有5个蒸气传输管道, 包含:a.4个标准钢瓶蒸气传输管道b.1个气泡式钢瓶蒸气传输管道1.25个钢瓶卡匣模块, 具有温度传感器, 加热器及过热自动断电保护功能, 包含:a.4个标准钢瓶卡匣模块b.1 个气泡式钢瓶卡匣模块1.35 个钢瓶, 搭配手动阀门, 包含: a.4个标准钢瓶及化学前驱体b.1 个气泡式钢瓶卡及化学前驱体1.4厂务端电源, 压缩空气进口及废气排放接口1.5内建无线射频等离子体生成器1.6等离子体生成器氧气入口1.7微软WINDOWS电脑，预先安装执行软件1.8电脑显示屏幕，鼠标及键盘1.9干式真空泵1.10 包含冷水机一台1.11 工作状态腔内真空度：≤ 2Pa (~0.015Torr)，到达以上真空度需求时间 < 10分钟 |
| 预计采购时间： | 2023-05 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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