厦门大学2023年5至6月政府采购意向-晶圆级化学镍钯金中试线-A032103电子工业专用生产设备-预算金额650.000000万元(人民币)
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厦门大学2023年5至6月政府采购意向-晶圆级化学镍钯金中试线-A032103电子工业专用生产设备-预算金额650.000000万元(人民币)
| 晶圆级化学镍钯金中试线 | |
| 项目所在采购意向： | 厦门大学2023年5至6月政府采购意向 |
| 采购单位： | 厦门大学 |
| 采购项目名称： | 晶圆级化学镍钯金中试线 |
| 预算金额： | 650.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况： | 晶圆级化学镍钯金中试线1台，主要的功能和目标：此设备用于自动化学镀镍钯金工艺和镀液配方研发，需要同时满足：6英寸、 8英寸和12 英寸的硅片在铝基和铜基上的镍、钯、金化学镀工艺；安全和质量的相关要求如下：1. 使用的环境温度：－10℃～50℃ 环境湿度：≤85％RH；2. 故障平均时间MTBF >240 hrs；正常运行时间＞85%；3. 破片率：＜5/10000；不良率/划伤：不良率＜1%，划伤＜0.2%；4. 镀层厚度：Ni: 3-10um，Pd: 0.1-1um，Au: 0.02-0.1um；更具体要求详见采购文件。 供货期：签订合同之日起，60个日历日货到采购人指定地点并安装验收完毕。（包括供货，安装，调试，验收合格所需时间）。具体事宜由成交供应商按采购人指定地点及时间安排要求执行。 |
| 预计采购时间： | 2023-05 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 晶圆级化学镍钯金中试线 | |
| 项目所在采购意向： | 厦门大学2023年5至6月政府采购意向 |
| 采购单位： | 厦门大学 |
| 采购项目名称： | 晶圆级化学镍钯金中试线 |
| 预算金额： | 650.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况： | 晶圆级化学镍钯金中试线1台，主要的功能和目标：此设备用于自动化学镀镍钯金工艺和镀液配方研发，需要同时满足：6英寸、 8英寸和12 英寸的硅片在铝基和铜基上的镍、钯、金化学镀工艺；安全和质量的相关要求如下：1. 使用的环境温度：－10℃～50℃ 环境湿度：≤85％RH；2. 故障平均时间MTBF >240 hrs；正常运行时间＞85%；3. 破片率：＜5/10000；不良率/划伤：不良率＜1%，划伤＜0.2%；4. 镀层厚度：Ni: 3-10um，Pd: 0.1-1um，Au: 0.02-0.1um；更具体要求详见采购文件。 供货期：签订合同之日起，60个日历日货到采购人指定地点并安装验收完毕。（包括供货，安装，调试，验收合格所需时间）。具体事宜由成交供应商按采购人指定地点及时间安排要求执行。 |
| 预计采购时间： | 2023-05 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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