腔室内衬,匀流环,ICP桶式离子源腔,真空波纹管招标预告
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腔室内衬,匀流环,ICP桶式离子源腔,真空波纹管招标预告
| 采购项目名称 | 参考规格型号 | 采购数量 | 备注 |
| 腔室内衬 | 离子减薄工艺腔关键部件，用于保护工艺腔室，根据*方提供的设计图纸，采用不锈钢与铝材加工。 | 1.0 | |
| 匀流环 | 离子减薄模块关键部件，用于实现更均匀的工艺腔内气流场，根据*方提供的设计图纸，采用铝材加工。 | 2.0 | |
| ICP桶式离子源腔 | ICP离子源主部件，开口200mm，根据*方提供的设计图纸，采用石英材质加工。 | 1.0 | |
| 真空波纹管 | 真空系统关键部件，用于样品结构密封，为密封动真空件，根据*方提供设计图纸加工。 | 1.0 |
| 采购项目名称 | 参考规格型号 | 采购数量 | 备注 |
| 腔室内衬 | 离子减薄工艺腔关键部件，用于保护工艺腔室，根据*方提供的设计图纸，采用不锈钢与铝材加工。 | 1.0 | |
| 匀流环 | 离子减薄模块关键部件，用于实现更均匀的工艺腔内气流场，根据*方提供的设计图纸，采用铝材加工。 | 2.0 | |
| ICP桶式离子源腔 | ICP离子源主部件，开口200mm，根据*方提供的设计图纸，采用石英材质加工。 | 1.0 | |
| 真空波纹管 | 真空系统关键部件，用于样品结构密封，为密封动真空件，根据*方提供设计图纸加工。 | 1.0 |
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