zycgr210708012023年4至12月政府意向-电感耦合等离子体刻蚀机（Si）-A02100305电子光学及离子光学仪器-预算金额332.000000万元(人民币)招标预告
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zycgr210708012023年4至12月政府意向-电感耦合等离子体刻蚀机（Si）-A02100305电子光学及离子光学仪器-预算金额332.000000万元(人民币)招标预告
| 电感耦合等离子体刻蚀机（Si） | |
| 项目所在采购意向： | zycgr*年4至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr* |
| 采购项目名称： | 电感耦合等离子体刻蚀机（Si） |
| 预算金额： | 332.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*电子光学及离子光学仪器 |
| 采购需求概况 ： | 1. 名称: 电感耦合等离子刻蚀机（Si） 2. 数量: 1台； 3. 主要功能: 用于量子随机数产生芯片研制中，主要用于干法刻蚀硅基薄膜材料（薄硅、SOI 等等），实现非等向性刻蚀；； 4. 目标： 系统组成：1 个刻蚀主腔，1 个进样腔，自动机械手臂传送样品；样品尺寸： 8 寸向下兼容；下电极温度：-· 20~250° C；ICP 源： 1.2 kW; RF 源：1200W; 反应气体：三氟*烷、八氟环*烷、六氟化硫、氧气、氦气、氮气、溴化氢；SOI 低频套件： 150~300kHz， 1000W； 5. 质保期: 1年以上。 6. 售后维保:国内必须设有维护点;24小时维修响应 |
| 预计采购时间： | 2023-06 |
| 电感耦合等离子体刻蚀机（Si） | |
| 项目所在采购意向： | zycgr*年4至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr* |
| 采购项目名称： | 电感耦合等离子体刻蚀机（Si） |
| 预算金额： | 332.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*电子光学及离子光学仪器 |
| 采购需求概况 ： | 1. 名称: 电感耦合等离子刻蚀机（Si） 2. 数量: 1台； 3. 主要功能: 用于量子随机数产生芯片研制中，主要用于干法刻蚀硅基薄膜材料（薄硅、SOI 等等），实现非等向性刻蚀；； 4. 目标： 系统组成：1 个刻蚀主腔，1 个进样腔，自动机械手臂传送样品；样品尺寸： 8 寸向下兼容；下电极温度：-· 20~250° C；ICP 源： 1.2 kW; RF 源：1200W; 反应气体：三氟*烷、八氟环*烷、六氟化硫、氧气、氦气、氮气、溴化氢；SOI 低频套件： 150~300kHz， 1000W； 5. 质保期: 1年以上。 6. 售后维保:国内必须设有维护点;24小时维修响应 |
| 预计采购时间： | 2023-06 |
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