zycgr210708012023年4至12月政府意向-双角度蒸发镀膜仪-A021099其他仪器仪表-预算金额1200.000000万元(人民币)招标预告
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zycgr210708012023年4至12月政府意向-双角度蒸发镀膜仪-A021099其他仪器仪表-预算金额1200.000000万元(人民币)招标预告
| 双角度蒸发镀膜仪 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr*年4至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr* |
| 采购项目名称： | 双角度蒸发镀膜仪 |
| 预算金额： | 1200.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他仪器仪表 |
| 采购需求概况 ： | 1、4腔室，包括进样室、离子源、蒸发室、氧化室； 2、镀膜均匀性达到±5%对150mm衬底（5mm边缘除外） 3、蒸发室可双角度镀膜 4、样品托倾角范围0度至340度，角度控制精度和可重复性优于0.02度 5、进样后可全计算机控制工艺 |
| 预计采购时间： | 2023-06 |
| 双角度蒸发镀膜仪 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr*年4至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr* |
| 采购项目名称： | 双角度蒸发镀膜仪 |
| 预算金额： | 1200.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他仪器仪表 |
| 采购需求概况 ： | 1、4腔室，包括进样室、离子源、蒸发室、氧化室； 2、镀膜均匀性达到±5%对150mm衬底（5mm边缘除外） 3、蒸发室可双角度镀膜 4、样品托倾角范围0度至340度，角度控制精度和可重复性优于0.02度 5、进样后可全计算机控制工艺 |
| 预计采购时间： | 2023-06 |
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