zycgr210708012023年4至12月政府意向-电感耦合等离子体刻蚀机（介质）-A02100305电子光学及离子光学仪器-预算金额1212.000000万元(人民币)招标预告
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zycgr210708012023年4至12月政府意向-电感耦合等离子体刻蚀机（介质）-A02100305电子光学及离子光学仪器-预算金额1212.000000万元(人民币)招标预告
| 电感耦合等离子体刻蚀机（介质） | |
| 项目所在采购意向： | zycgr*年4至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr* |
| 采购项目名称： | 电感耦合等离子体刻蚀机（介质） |
| 预算金额： | 1212.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*电子光学及离子光学仪器 |
| 采购需求概况 ： | 1.系统组成：1个刻蚀主腔，1个进样腔，由自动机械手臂进行传送样； ？ 样品尺寸：单片刻蚀，6寸可扩充至8寸； ？ 下电极温度：至少包含-20 ~ 400°C； ？ 反应气体：三氟*烷、四氟化八碳、氩气、氦气、氧气、六氟化硫； ？ 刻蚀指标：氧化硅刻蚀速率： >300nm/min; 刻蚀侧壁角度： 85°以上； 刻蚀侧壁光滑度: <50nm 2. 数量: 1套 质保期: 1年以上 售后维保:国内必须设有维护点;36小时维修响应; |
| 预计采购时间： | 2023-12 |
| 电感耦合等离子体刻蚀机（介质） | |
| 项目所在采购意向： | zycgr*年4至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr* |
| 采购项目名称： | 电感耦合等离子体刻蚀机（介质） |
| 预算金额： | 1212.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*电子光学及离子光学仪器 |
| 采购需求概况 ： | 1.系统组成：1个刻蚀主腔，1个进样腔，由自动机械手臂进行传送样； ？ 样品尺寸：单片刻蚀，6寸可扩充至8寸； ？ 下电极温度：至少包含-20 ~ 400°C； ？ 反应气体：三氟*烷、四氟化八碳、氩气、氦气、氧气、六氟化硫； ？ 刻蚀指标：氧化硅刻蚀速率： >300nm/min; 刻蚀侧壁角度： 85°以上； 刻蚀侧壁光滑度: <50nm 2. 数量: 1套 质保期: 1年以上 售后维保:国内必须设有维护点;36小时维修响应; |
| 预计采购时间： | 2023-12 |
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