zycgr210708012023年4至12月政府意向-分子束外延-A021099其他仪器仪表-预算金额1518.000000万元(人民币)招标预告
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zycgr210708012023年4至12月政府意向-分子束外延-A021099其他仪器仪表-预算金额1518.000000万元(人民币)招标预告
| 分子束外延 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr*年4至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr* |
| 采购项目名称： | 分子束外延 |
| 预算金额： | 1518.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他仪器仪表 |
| 采购需求概况 ： | 系统组成：1个生长主腔，1个缓冲腔，1个进样腔，由机械手臂进行传送样； 样品尺寸：单片最大4寸； 主腔本底真空：<5E-11 Torr; 薄膜指标：1微米厚的砷化镓下，表面缺陷密度<100#/cm2 ; 1微米厚的磷化铟下，表面缺陷密度<100#/cm2； 膜厚均匀性优于±5%。 |
| 预计采购时间： | 2023-12 |
| 分子束外延 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr*年4至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr* |
| 采购项目名称： | 分子束外延 |
| 预算金额： | 1518.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他仪器仪表 |
| 采购需求概况 ： | 系统组成：1个生长主腔，1个缓冲腔，1个进样腔，由机械手臂进行传送样； 样品尺寸：单片最大4寸； 主腔本底真空：<5E-11 Torr; 薄膜指标：1微米厚的砷化镓下，表面缺陷密度<100#/cm2 ; 1微米厚的磷化铟下，表面缺陷密度<100#/cm2； 膜厚均匀性优于±5%。 |
| 预计采购时间： | 2023-12 |
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