流量开关信号器 　 个 1 耦合器 3220-01052 件 2 马达控制器 LC-X 个 1 流量计 UFC-1660 个 1 O-RING 86*5.33 件 30 去离子罐-0190-34100 3250-01007（0190-34100） 件 2 showerhead(6寸SIO2) 0020-10771 个 3 硅电极 839-*-001 件 2 视窗 10140-*B 个 4 6寸聚焦环 10150-*B 个 2 反射极螺钉 *(H0006) 件 20 双边绝缘柱 * 件 50 上盖板（钨） 17B4495 个 2 双气孔底板 * 个 2 加热灯罩玻璃 * 个 20 小弹簧-5寸 ZWZF-3220 个 250 紧固螺钉-5寸 ZWZF-3221 个 250 陶瓷手臂PULLOUT ARM 4B001-383(155×30) 件 1 1/4VCR垫片 SS-4-VCR-2-GR-BL(NI-4-VCR-2-VS) 件 200 真空阀 HVB712-15F-12B-3M-AC100V 个 1 cap sensor 0100-00084 个 1 Encoder线 0150-70014 个 2 I/O PCB * 件 1 INPUT PCB * 件 1 spring clip 0020-24236 件 10 石英检测窗 0200-09657 件 2 源气管组件 0090-09016 个 1 LIFT PIN 0020-09069 件 4 Encoder线 0150-70013 个 2 NCS测高光纤 HPF-P003AC 双 2 NCS光纤放大器 HPX-MA-A BROWN--10.8-26.4V 个 2 manifold input 0020-09602 个 1 Manifold output 0020-10134 个 1 放电腔螺钉 6973-0002-6210 件 3 聚四氟*烯电线 * 米 30 压线端子 * 个 20 压线端子 * 个 20 挡板支架 * 个 5

流量开关信号器 　 个 1 耦合器 3220-01052 件 2 马达控制器 LC-X 个 1 流量计 UFC-1660 个 1 O-RING 86*5.33 件 30 去离子罐-0190-34100 3250-01007（0190-34100） 件 2 showerhead(6寸SIO2) 0020-10771 个 3 硅电极 839-*-001 件 2 视窗 10140-*B 个 4 6寸聚焦环 10150-*B 个 2 反射极螺钉 *(H0006) 件 20 双边绝缘柱 * 件 50 上盖板（钨） 17B4495 个 2 双气孔底板 * 个 2 加热灯罩玻璃 * 个 20 小弹簧-5寸 ZWZF-3220 个 250 紧固螺钉-5寸 ZWZF-3221 个 250 陶瓷手臂PULLOUT ARM 4B001-383(155×30) 件 1 1/4VCR垫片 SS-4-VCR-2-GR-BL(NI-4-VCR-2-VS) 件 200 真空阀 HVB712-15F-12B-3M-AC100V 个 1 cap sensor 0100-00084 个 1 Encoder线 0150-70014 个 2 I/O PCB * 件 1 INPUT PCB * 件 1 spring clip 0020-24236 件 10 石英检测窗 0200-09657 件 2 源气管组件 0090-09016 个 1 LIFT PIN 0020-09069 件 4 Encoder线 0150-70013 个 2 NCS测高光纤 HPF-P003AC 双 2 NCS光纤放大器 HPX-MA-A BROWN--10.8-26.4V 个 2 manifold input 0020-09602 个 1 Manifold output 0020-10134 个 1 放电腔螺钉 6973-0002-6210 件 3 聚四氟*烯电线 * 米 30 压线端子 * 个 20 压线端子 * 个 20 挡板支架 * 个 5