深圳技术大学晶圆探针台意向公开
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深圳技术大学晶圆探针台意向公开
| 采购单位: | 深圳技术大学 |
| 项目名称: | 晶圆探针台 |
| 预算金额（元）: | 1,500,000.000 |
| 采购品目: | 其他仪器仪表 |
| 采购需求概况: | 拟采购晶圆探针台一套，配置参数包括：1.手动探针台，支持X/Y/T轴手动调节，支持≤200mm晶圆及碎片测试；2.XY移动范围：≥203mm×203mm，T轴旋转范围：±5.7°，物理旋钮可实现全移动范围内的移动操作；3.定位器平台材质：可被磁性吸附的钢；4.定位器平台Z轴移动范围：≥5mm，移动重复性：≤3μm；,5.定位器平台抬起方式：手动抬起，台体左侧90°抬杠，手动升降，在测试中实现快速分离，方便手动快速测试验证测试；6.需包含快速拉出晶圆载物台装置，对于定位器平台边缘，拉出位置超过晶圆载片台的100%面积，以方便安全上下晶圆用； 7.载物台支持高低温，预留高低温接口，未来可升级-60~ 300℃高低温系统，不需要更换载物台；8.探针台主机微暗室：可遮光, 屏蔽电磁干扰，为未来升级低温测试做准备；9.数字图像放大观察系统，实时视频，最大放大倍数≥500X，软件自动聚焦功能，配远程控制器，可以在控制器上调节亮度和放大倍数；10.可轻松升级到325GHz以上测试应用，需具备升级的所有配件，包含探针、校准片等，探针台厂家具备太赫兹探针、校准片制作和维修能力。 |
| 联系人: | 宋惠雪 |
| 联系电话: | 0755-* |
| 预计采购时间: | 2023-07 |
| 备注: | 无 |
| 采购单位: | 深圳技术大学 |
| 项目名称: | 晶圆探针台 |
| 预算金额（元）: | 1,500,000.000 |
| 采购品目: | 其他仪器仪表 |
| 采购需求概况: | 拟采购晶圆探针台一套，配置参数包括：1.手动探针台，支持X/Y/T轴手动调节，支持≤200mm晶圆及碎片测试；2.XY移动范围：≥203mm×203mm，T轴旋转范围：±5.7°，物理旋钮可实现全移动范围内的移动操作；3.定位器平台材质：可被磁性吸附的钢；4.定位器平台Z轴移动范围：≥5mm，移动重复性：≤3μm；,5.定位器平台抬起方式：手动抬起，台体左侧90°抬杠，手动升降，在测试中实现快速分离，方便手动快速测试验证测试；6.需包含快速拉出晶圆载物台装置，对于定位器平台边缘，拉出位置超过晶圆载片台的100%面积，以方便安全上下晶圆用； 7.载物台支持高低温，预留高低温接口，未来可升级-60~ 300℃高低温系统，不需要更换载物台；8.探针台主机微暗室：可遮光, 屏蔽电磁干扰，为未来升级低温测试做准备；9.数字图像放大观察系统，实时视频，最大放大倍数≥500X，软件自动聚焦功能，配远程控制器，可以在控制器上调节亮度和放大倍数；10.可轻松升级到325GHz以上测试应用，需具备升级的所有配件，包含探针、校准片等，探针台厂家具备太赫兹探针、校准片制作和维修能力。 |
| 联系人: | 宋惠雪 |
| 联系电话: | 0755-* |
| 预计采购时间: | 2023-07 |
| 备注: | 无 |
| 采购单位: | 深圳技术大学 |
| 项目名称: | 晶圆探针台 |
| 预算金额（元）: | 1,500,000.000 |
| 采购品目: | 其他仪器仪表 |
| 采购需求概况: | 拟采购晶圆探针台一套，配置参数包括：1.手动探针台，支持X/Y/T轴手动调节，支持≤200mm晶圆及碎片测试；2.XY移动范围：≥203mm×203mm，T轴旋转范围：±5.7°，物理旋钮可实现全移动范围内的移动操作；3.定位器平台材质：可被磁性吸附的钢；4.定位器平台Z轴移动范围：≥5mm，移动重复性：≤3μm；,5.定位器平台抬起方式：手动抬起，台体左侧90°抬杠，手动升降，在测试中实现快速分离，方便手动快速测试验证测试；6.需包含快速拉出晶圆载物台装置，对于定位器平台边缘，拉出位置超过晶圆载片台的100%面积，以方便安全上下晶圆用； 7.载物台支持高低温，预留高低温接口，未来可升级-60~ 300℃高低温系统，不需要更换载物台；8.探针台主机微暗室：可遮光, 屏蔽电磁干扰，为未来升级低温测试做准备；9.数字图像放大观察系统，实时视频，最大放大倍数≥500X，软件自动聚焦功能，配远程控制器，可以在控制器上调节亮度和放大倍数；10.可轻松升级到325GHz以上测试应用，需具备升级的所有配件，包含探针、校准片等，探针台厂家具备太赫兹探针、校准片制作和维修能力。 |
| 联系人: | 宋惠雪 |
| 联系电话: | 0755-* |
| 预计采购时间: | 2023-07 |
| 备注: | 无 |
| 采购单位: | 深圳技术大学 |
| 项目名称: | 晶圆探针台 |
| 预算金额（元）: | 1,500,000.000 |
| 采购品目: | 其他仪器仪表 |
| 采购需求概况: | 拟采购晶圆探针台一套，配置参数包括：1.手动探针台，支持X/Y/T轴手动调节，支持≤200mm晶圆及碎片测试；2.XY移动范围：≥203mm×203mm，T轴旋转范围：±5.7°，物理旋钮可实现全移动范围内的移动操作；3.定位器平台材质：可被磁性吸附的钢；4.定位器平台Z轴移动范围：≥5mm，移动重复性：≤3μm；,5.定位器平台抬起方式：手动抬起，台体左侧90°抬杠，手动升降，在测试中实现快速分离，方便手动快速测试验证测试；6.需包含快速拉出晶圆载物台装置，对于定位器平台边缘，拉出位置超过晶圆载片台的100%面积，以方便安全上下晶圆用； 7.载物台支持高低温，预留高低温接口，未来可升级-60~ 300℃高低温系统，不需要更换载物台；8.探针台主机微暗室：可遮光, 屏蔽电磁干扰，为未来升级低温测试做准备；9.数字图像放大观察系统，实时视频，最大放大倍数≥500X，软件自动聚焦功能，配远程控制器，可以在控制器上调节亮度和放大倍数；10.可轻松升级到325GHz以上测试应用，需具备升级的所有配件，包含探针、校准片等，探针台厂家具备太赫兹探针、校准片制作和维修能力。 |
| 联系人: | 宋惠雪 |
| 联系电话: | 0755-* |
| 预计采购时间: | 2023-07 |
| 备注: | 无 |
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