上海交通大学2023年6至8月政府采购意向-离子强化化学镀膜设备-A02062002电气物理设备-预算金额180.000000万元(人民币)

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上海交通大学2023年6至8月政府采购意向-离子强化化学镀膜设备-A02062002电气物理设备-预算金额180.000000万元(人民币)

离子强化化学镀膜设备
项目所在采购意向:上海交通大学2023年6至8月政府采购意向
采购单位:上海交通大学
采购项目名称:离子强化化学镀膜设备
预算金额:180.*万元(人民币)
采购品目:
A*电气物理设备
采购需求概况:
设备使用直流等离子发生器,并添加快速启停控制单元,可以在较窄时间窗口内精准控制设备的启停时间,实现纳米材料精确生长控制。主要技术指标:1.系统极限真空度: 10-4 Pa; 2.功率15-25 kW; 3.平板双电极,直径约15 cm,平板间距0-40 mm可调节; 4.最大支持4寸晶片; 5.样品温度1200 ℃; 6.搭配直流电源,最大电压需求1400 V; 7.配备5路及以上气路,包含氩气、氮气、氢气及含碳气体等。具体要求详见采购文件。 供货期:签订合同之日起,7个月内货到采购人指定地点,并在3周内完成安装、调试、验收。具体事宜由成交供应商按采购人指定地点及时间安排要求执行。
预计采购时间:2023-06
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

,上海
离子强化化学镀膜设备
项目所在采购意向:上海交通大学2023年6至8月政府采购意向
采购单位:上海交通大学
采购项目名称:离子强化化学镀膜设备
预算金额:180.*万元(人民币)
采购品目:
A*电气物理设备
采购需求概况:
设备使用直流等离子发生器,并添加快速启停控制单元,可以在较窄时间窗口内精准控制设备的启停时间,实现纳米材料精确生长控制。主要技术指标:1.系统极限真空度: 10-4 Pa; 2.功率15-25 kW; 3.平板双电极,直径约15 cm,平板间距0-40 mm可调节; 4.最大支持4寸晶片; 5.样品温度1200 ℃; 6.搭配直流电源,最大电压需求1400 V; 7.配备5路及以上气路,包含氩气、氮气、氢气及含碳气体等。具体要求详见采购文件。 供货期:签订合同之日起,7个月内货到采购人指定地点,并在3周内完成安装、调试、验收。具体事宜由成交供应商按采购人指定地点及时间安排要求执行。
预计采购时间:2023-06
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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