wafer holder bellows（check） 19S0129 个 1 双6石英缸 TMTEC QZ-A125 TANK WITH HSS04 (3/4NPT) 件 1 基座 0020-31709 个 1 石英件 716-*-002 个 1 E-SHOWER 挡片 * 件 2 水过滤器 4020-01140 件 2 显微镜平台 　 件 1 专用探针 TYPE-B 个 1 SWITCH VACUUM 87141 件 1 套环 17S8576 个 1 ampule 加热块 0150-09265 个 1 热偶 1310-01003 个 1 MARK8 马达 1386-*-12 个 1 轴承 * 个 10 Thrust needle bearing NTB2035 * 个 10 轴承 * 个 10 ARM PCB板 80157F 个 1 ORING 11.8*2.65 个 10 ORING 11.8*2.8 个 10 真空电容 649-*-001 个 1 空气喷嘴 69272 件 2 large face 白 0030-09049 个 6 Filament / Repeller Insulator 绝缘子（小） E* 个 30 Filament / Repeller Insulator 绝缘子（大） E* 个 30 Filament Clamp Insulator 灯丝夹绝缘块 E* 个 6 SCREW,REFLCETOR?反射极 E* 个 6 灯丝支架 * 件 1 石英紫外灯 68221 件 1 下电极（E-CHUCK） 718-*-061 个 1 真空开关 MKS 241A 个 1 I6 stage 丝杆 lead screw 长约375mm 根 2 o-ring 2-373 （SI-70） 件 18 陶瓷手臂C/S ARM 1310-*-13(5”) 件 1 扩散泵加热盘 VHS-6-ASY-208V 件 1 驱动器 　 个 1 O形圈 209*5.33 件 10 控制器 3930-01005 件 15 螺钉 3300-01215 件 30 垫圈 3320-01011 件 30 Screw 3690-01325 个 15 ORING 300*5.5 个 5 门封 121R0001-552 件 2 门窗 123R0013-546 件 1 陶瓷手臂C/S ARM 1310-*-13(5”) 件 1 oxide压环（6寸） 0020-31708 个 2 oxide硅环（6寸） 0200-09626 个 2 susceptor(6寸SIO2) 0010-02863 个 1 O-RING-734-*-001 734-*-001 件 10 电磁阀 4SB019 件 2 气缸 024-*-1 件 1 流量计 UNIT-1660/NF3/200SCCM 个 1 终点视窗（Window, QTZ, Headed Endpoint） 716-*-001 个 1 不锈钢接头 　 个 2 加热器 　 套 2 消声器 IH600 片 1 光源控制器 MHF-D100LR 个 1 去离子罐-0190-34100 3250-01007（0190-34100） 件 2 激光管 颗粒仪6200 个 1 通水轴 * 个 2 OUTPUT PCB * 个 1 BBD光纤放大器 HPX-MA-C 个 1 舟板 *V03 个 1 终点视窗密封圈（O-ring, 5.25 x .103 C/S, FS） 734-*-001 个 2 钨舟压块 * 个 40 灯丝绝缘柱 * 件 40 绝缘块 定制 个 1 三通隔膜阀 AP3650S 个 1 场发射灯丝（安装、保养） TEA-04-00 SS2 套 1 6004轴承 NSK 6004 个 12 oring * 个 10 Potentiometer * 个 1 激光模块 GTPC-50S 个 1 加热件 *-001 件 1 i-line filter 　 块 1 第一反射镜 　 块 1 input lens 　 块 1 BBD光纤放大器 HPX-MA-C 个 1 行星轴 * 个 10 6"guide1 17S8976 个 1 6"guide2 17S8977 个 1 6"guide3 17A8409 个 1 6寸focus ring（Ring, FAC, 6", ESC, GD R, Semi） 716-*-064 个 1 O-RING 86*5.33 件 30 I7丝杆 L=330mm 根 2 19S0091 BELLOW 19S0091 件 1 金属软管 1/4VCR 个 2 波纹管 　 件 1

wafer holder bellows（check） 19S0129 个 1 双6石英缸 TMTEC QZ-A125 TANK WITH HSS04 (3/4NPT) 件 1 基座 0020-31709 个 1 石英件 716-*-002 个 1 E-SHOWER 挡片 * 件 2 水过滤器 4020-01140 件 2 显微镜平台 　 件 1 专用探针 TYPE-B 个 1 SWITCH VACUUM 87141 件 1 套环 17S8576 个 1 ampule 加热块 0150-09265 个 1 热偶 1310-01003 个 1 MARK8 马达 1386-*-12 个 1 轴承 * 个 10 Thrust needle bearing NTB2035 * 个 10 轴承 * 个 10 ARM PCB板 80157F 个 1 ORING 11.8*2.65 个 10 ORING 11.8*2.8 个 10 真空电容 649-*-001 个 1 空气喷嘴 69272 件 2 large face 白 0030-09049 个 6 Filament / Repeller Insulator 绝缘子（小） E* 个 30 Filament / Repeller Insulator 绝缘子（大） E* 个 30 Filament Clamp Insulator 灯丝夹绝缘块 E* 个 6 SCREW,REFLCETOR?反射极 E* 个 6 灯丝支架 * 件 1 石英紫外灯 68221 件 1 下电极（E-CHUCK） 718-*-061 个 1 真空开关 MKS 241A 个 1 I6 stage 丝杆 lead screw 长约375mm 根 2 o-ring 2-373 （SI-70） 件 18 陶瓷手臂C/S ARM 1310-*-13(5”) 件 1 扩散泵加热盘 VHS-6-ASY-208V 件 1 驱动器 　 个 1 O形圈 209*5.33 件 10 控制器 3930-01005 件 15 螺钉 3300-01215 件 30 垫圈 3320-01011 件 30 Screw 3690-01325 个 15 ORING 300*5.5 个 5 门封 121R0001-552 件 2 门窗 123R0013-546 件 1 陶瓷手臂C/S ARM 1310-*-13(5”) 件 1 oxide压环（6寸） 0020-31708 个 2 oxide硅环（6寸） 0200-09626 个 2 susceptor(6寸SIO2) 0010-02863 个 1 O-RING-734-*-001 734-*-001 件 10 电磁阀 4SB019 件 2 气缸 024-*-1 件 1 流量计 UNIT-1660/NF3/200SCCM 个 1 终点视窗（Window, QTZ, Headed Endpoint） 716-*-001 个 1 不锈钢接头 　 个 2 加热器 　 套 2 消声器 IH600 片 1 光源控制器 MHF-D100LR 个 1 去离子罐-0190-34100 3250-01007（0190-34100） 件 2 激光管 颗粒仪6200 个 1 通水轴 * 个 2 OUTPUT PCB * 个 1 BBD光纤放大器 HPX-MA-C 个 1 舟板 *V03 个 1 终点视窗密封圈（O-ring, 5.25 x .103 C/S, FS） 734-*-001 个 2 钨舟压块 * 个 40 灯丝绝缘柱 * 件 40 绝缘块 定制 个 1 三通隔膜阀 AP3650S 个 1 场发射灯丝（安装、保养） TEA-04-00 SS2 套 1 6004轴承 NSK 6004 个 12 oring * 个 10 Potentiometer * 个 1 激光模块 GTPC-50S 个 1 加热件 *-001 件 1 i-line filter 　 块 1 第一反射镜 　 块 1 input lens 　 块 1 BBD光纤放大器 HPX-MA-C 个 1 行星轴 * 个 10 6"guide1 17S8976 个 1 6"guide2 17S8977 个 1 6"guide3 17A8409 个 1 6寸focus ring（Ring, FAC, 6", ESC, GD R, Semi） 716-*-064 个 1 O-RING 86*5.33 件 30 I7丝杆 L=330mm 根 2 19S0091 BELLOW 19S0091 件 1 金属软管 1/4VCR 个 2 波纹管 　 件 1