深圳大学双面掩膜对准系统意向公开-电子工业生产设备
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深圳大学双面掩膜对准系统意向公开-电子工业生产设备
| 采购单位: | 深圳大学 |
| 项目名称: | 双面掩膜对准系统 |
| 预算金额（元）: | 4,400,000.000 |
| 采购品目: | 电子工业生产设备 |
| 采购需求概况: | 晶圆尺寸最大可达300 mm 线宽0.5 微米以上 支持背面对准光刻和键合对准工艺 物镜最小间距达8 mm，满足小片和碎片的曝光应用 |
| 联系人: | 王老师 |
| 联系电话: | 0755-* |
| 预计采购时间: | 2023-07 |
| 备注: | 无 |
| 采购单位: | 深圳大学 |
| 项目名称: | 双面掩膜对准系统 |
| 预算金额（元）: | 4,400,000.000 |
| 采购品目: | 电子工业生产设备 |
| 采购需求概况: | 晶圆尺寸最大可达300 mm 线宽0.5 微米以上 支持背面对准光刻和键合对准工艺 物镜最小间距达8 mm，满足小片和碎片的曝光应用 |
| 联系人: | 王老师 |
| 联系电话: | 0755-* |
| 预计采购时间: | 2023-07 |
| 备注: | 无 |
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