序号

采购项目名称

采购需求概况

预算金额

（万元）

拟面向中小企业预留

预计采购时间

（填写到月）

备注

1

晶体材料实验室设备采购项目（一）

小型三靶磁控溅射仪 1、电源电压：220V ； 2、总功率：＜2.5KW； 3、极限真空度：< E-5mbar； 4、工作温度：RT-500℃，精度±1℃； 5、靶枪数量：3个； 6、靶枪冷却方式：水冷； 7、靶材尺寸：？2″，厚度0.1mm-5mm； 8、载样台：＞？120mm； 9、保护气体：Ar、N2等惰性气体； 10、载样台转速：1rpm-20rpm内可调； 11、配有直流一个加射频电源两个，配有分子泵，配有偏压组件； 12、服务：负责整套设备安装到位，并负责调试及相应的培训。保修期至少1年； 13、配有Al，SiO2靶材； 14、镀膜参数片内均匀性上下误差在10%以内。

36.96

否

2023年08月

序号

采购项目名称

采购需求概况

预算金额

（万元）

拟面向中小企业预留

预计采购时间

（填写到月）

备注

1

晶体材料实验室设备采购项目（一）

小型三靶磁控溅射仪 1、电源电压：220V ； 2、总功率：＜2.5KW； 3、极限真空度：< E-5mbar； 4、工作温度：RT-500℃，精度±1℃； 5、靶枪数量：3个； 6、靶枪冷却方式：水冷； 7、靶材尺寸：？2″，厚度0.1mm-5mm； 8、载样台：＞？120mm； 9、保护气体：Ar、N2等惰性气体； 10、载样台转速：1rpm-20rpm内可调； 11、配有直流一个加射频电源两个，配有分子泵，配有偏压组件； 12、服务：负责整套设备安装到位，并负责调试及相应的培训。保修期至少1年； 13、配有Al，SiO2靶材； 14、镀膜参数片内均匀性上下误差在10%以内。

36.96

否

2023年08月