中国科学院上海技术物理研究所2023年8月政府采购意向-高精度原子层刻蚀加工系统预算金额万元人民币
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中国科学院上海技术物理研究所2023年8月政府采购意向-高精度原子层刻蚀加工系统预算金额万元人民币
| 高精度原子层刻蚀加工系统 | |
| 项目所在采购意向： | (略) 上海技术物理研究所2023年8月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 上海技术物理研究所 |
| 采购项目名称： | 高精度原子层刻蚀加工系统 |
| 预算金额： | 162.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A* |
| 采购需求概况： | 刻蚀材料尺寸: 4 英寸高真空度<5x10 mbar刻蚀精度: 线宽<500 nm |
| 预计采购时间： | 2023-08 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 高精度原子层刻蚀加工系统 | |
| 项目所在采购意向： | (略) 上海技术物理研究所2023年8月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 上海技术物理研究所 |
| 采购项目名称： | 高精度原子层刻蚀加工系统 |
| 预算金额： | 162.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A* |
| 采购需求概况： | 刻蚀材料尺寸: 4 英寸高真空度<5x10 mbar刻蚀精度: 线宽<500 nm |
| 预计采购时间： | 2023-08 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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