天津大学2023年7月政府采购意向-电子束光刻机电子工业专用生产设备-预算金额万元人民币
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天津大学2023年7月政府采购意向-电子束光刻机电子工业专用生产设备-预算金额万元人民币
| 电子束光刻机 | |
| 项目所在采购意向： | 天津大学2023年7月政府采购意向 |
| 采购单位： | 天津大学 |
| 采购项目名称： | 电子束光刻机 |
| 预算金额： | 365.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况： | 电子束光刻机，1台。主要技术指标：(1) 最小线宽≤40 nm（以图形转移后的工艺线宽为准）；(2) 套刻精度≤50 nm（平均值+3倍标准差）；(3) 写场拼接精度≤50 nm（平均值+3倍标准差）；(4) 配备激光干涉仪定位样品台；(5) 最大样品尺寸：4英寸。供货期：签订合同之日起，365个日历日货到采购人指定地点并安装验收完毕（包括供货，安装，调试，验收合格所需时间）。具体事宜由成交供应商按采购人指定地点及时间安排要求执行。 |
| 预计采购时间： | 2023-07 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 电子束光刻机 | |
| 项目所在采购意向： | 天津大学2023年7月政府采购意向 |
| 采购单位： | 天津大学 |
| 采购项目名称： | 电子束光刻机 |
| 预算金额： | 365.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况： | 电子束光刻机，1台。主要技术指标：(1) 最小线宽≤40 nm（以图形转移后的工艺线宽为准）；(2) 套刻精度≤50 nm（平均值+3倍标准差）；(3) 写场拼接精度≤50 nm（平均值+3倍标准差）；(4) 配备激光干涉仪定位样品台；(5) 最大样品尺寸：4英寸。供货期：签订合同之日起，365个日历日货到采购人指定地点并安装验收完毕（包括供货，安装，调试，验收合格所需时间）。具体事宜由成交供应商按采购人指定地点及时间安排要求执行。 |
| 预计采购时间： | 2023-07 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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