南京大学2023年政府采购意向公开第26批-原子层沉积ALD设备-采招网

南京大学2023年政府采购意向公开第26批-原子层沉积ALD设备

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南京大学2023年政府采购意向公开第26批-原子层沉积ALD设备

为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将南京大学2023年政府采购意向公开（第26批）政府采购意向公开如下：

序号	采购项目名称	意向编号	采购品目	采购需求概况	预算金额(万元)	预计采购日期	备注
1	原子层沉积（ALD）设备	*	A* 真空应用设备	南京大学拟采购原子层沉积（ALD）设备一台，在不经过大气环境转移的情况下，可连续实现金属和介质材料的多层结构，同时保障界面清洁无损；在集成电路的核心工艺通孔填充环节，利用该设备可实现均匀、致密的阻挡层、种子层、金属层，并避免金属扩散，提高器件可靠性。主要技术指标：1. 双腔互联结构；2. 兼容200mm及以下晶圆；3. 可选择热沉积和等离子辅助沉积两种模式；4. 工艺温度范围：30-550C；5. 至少配备5路金属前驱体源和5路工艺气路。质保期：3年。	700	2023年09月
2	高通量非靶向筛选质谱仪	*	A* 质谱仪	南京大学拟采购高通量非靶向筛选质谱仪器一台，主要用于环境毒害污染物筛查、合成生物学学、代谢组学、药物发现等研究。产品需要配置自动化固相萃取装置，自动进样装置和高分辨质谱仪；进样通量不高于1min/sample；兼容384孔进样板；质谱仪质量范围不低于2000amu；采样速度不低于30张谱图/秒；产品质保期3年。	485	2023年07月

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

南京大学招标办公室

2023年06月30日

序号	采购项目名称	意向编号	采购品目	采购需求概况	预算金额(万元)	预计采购日期	备注
1	原子层沉积（ALD）设备	*	A* 真空应用设备	南京大学拟采购原子层沉积（ALD）设备一台，在不经过大气环境转移的情况下，可连续实现金属和介质材料的多层结构，同时保障界面清洁无损；在集成电路的核心工艺通孔填充环节，利用该设备可实现均匀、致密的阻挡层、种子层、金属层，并避免金属扩散，提高器件可靠性。主要技术指标：1. 双腔互联结构；2. 兼容200mm及以下晶圆；3. 可选择热沉积和等离子辅助沉积两种模式；4. 工艺温度范围：30-550C；5. 至少配备5路金属前驱体源和5路工艺气路。质保期：3年。	700	2023年09月
2	高通量非靶向筛选质谱仪	*	A* 质谱仪	南京大学拟采购高通量非靶向筛选质谱仪器一台，主要用于环境毒害污染物筛查、合成生物学学、代谢组学、药物发现等研究。产品需要配置自动化固相萃取装置，自动进样装置和高分辨质谱仪；进样通量不高于1min/sample；兼容384孔进样板；质谱仪质量范围不低于2000amu；采样速度不低于30张谱图/秒；产品质保期3年。	485	2023年07月

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

南京大学招标办公室

2023年06月30日

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