南京大学2023年7至9月政府采购意向-原子层沉积ALD设备真空应用设备-预算金额万元人民币
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南京大学2023年7至9月政府采购意向-原子层沉积ALD设备真空应用设备-预算金额万元人民币
| 原子层沉积（ALD）设备 | |
| 项目所在采购意向： | 南京大学2023年7至9月政府采购意向 |
| 采购单位： | 南京大学 |
| 采购项目名称： | 原子层沉积（ALD）设备 |
| 预算金额： | 700.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A* 真空应用设备 |
| 采购需求概况： | 南京大学拟采购原子层沉积（ALD）设备一台， 在不经过大气环境转移的情况下，可连续实现金属和介质材料的多层结构，同时保障界面清洁无损；在集成电路的核心工艺通孔填充环节，利用该设备可实现均匀、致密的阻挡层、种子层、金属层，并避免金属扩散，提高器件可靠性。主要技术指标：1. 双腔互联结构；2. 兼容200mm及以下晶圆；3. 可选择热沉积和等离子辅助沉积两种模式；4. 工艺温度范围：30-550C；5. 至少配备5路金属前驱体源和5路工艺气路。质保期：3年。 |
| 预计采购时间： | 2023-09 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 原子层沉积（ALD）设备 | |
| 项目所在采购意向： | 南京大学2023年7至9月政府采购意向 |
| 采购单位： | 南京大学 |
| 采购项目名称： | 原子层沉积（ALD）设备 |
| 预算金额： | 700.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A* 真空应用设备 |
| 采购需求概况： | 南京大学拟采购原子层沉积（ALD）设备一台， 在不经过大气环境转移的情况下，可连续实现金属和介质材料的多层结构，同时保障界面清洁无损；在集成电路的核心工艺通孔填充环节，利用该设备可实现均匀、致密的阻挡层、种子层、金属层，并避免金属扩散，提高器件可靠性。主要技术指标：1. 双腔互联结构；2. 兼容200mm及以下晶圆；3. 可选择热沉积和等离子辅助沉积两种模式；4. 工艺温度范围：30-550C；5. 至少配备5路金属前驱体源和5路工艺气路。质保期：3年。 |
| 预计采购时间： | 2023-09 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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