离子束刻蚀机采购意向公开

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离子束刻蚀机采购意向公开

来自军队采购网
概算金额(人民币,万元):,720.00,预计交付日期:,2023-12-04,采购意向需求概况:,为便于供应商及时了解军队采购信息,根据《军队物资服务集中采购需求管理暂行办法》等有关规,定,现将长沙某都的离子束刻蚀机采购意向公开如下:,序,采购,预算,初步技术,金额,预计采,备,需求概况,参数,万,购时间,元),离子束刻蚀机1套,1、报价应为人民币【含税)且包括,服所辖高品价输费等险横閱价,政策而调整。*方除非因*方需求改,1.装载方彧用loadlock传输腔装载,,变或经*方同意,且不得增加任何费,2.样品尺寸:200mm;,用。,3工艺气体:惰性气体为主,选配氟基、氯基气体可实现,3、*方提供的物资质量应,RIBE工艺;,离子,符合国家标准。各项技术性能指标必,4.刻蚀线宽:最小CD50nm:,1,束刻,须达到哈同和技术文件规定的要求。,5.离子源:大于200mm口径离子源;,720,2023.8,蚀机,4、合同生效后,*方在6个月内完,6.适用范围:科研和小规模量产:,成货品运输、,安装及调试,7刻蚀材料介质材料(Si02,SiNx,等,非挥发材料(Pt,,5、提供1年免费维保;,Au,Ag,I,NiRe等),铁电材料(PZT,SBT等),III-,6、包装及资料全新未使用,V及II-VI化合物(GaAs,GaN,InP,CdZnTe等),其他,7、不能公开项目采购相关信息,包,材料:蓝宝石,钻石,氧化钢锡,氮化铝,金属氧化物等。,括数量及用途等,涉及物,资的全部技术资料等未经*方同意*,方不得向社会公开。,合计,720万,注:1.本次公开的采购意向仅作为供应商了解初步采购安排的参考,采购项目具体情况以最终发布的,采购公告和采购文件为准;,2供应商可以通过军队采购平台反馈参与意向和意见建议。,3.公示时间:从公示日起30天,4.联系人及电话:黄老师*,长沙某部,军队采购网,2023年7月3日
,长沙
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概算金额(人民币,万元):,720.00,预计交付日期:,2023-12-04,采购意向需求概况:,为便于供应商及时了解军队采购信息,根据《军队物资服务集中采购需求管理暂行办法》等有关规,定,现将长沙某都的离子束刻蚀机采购意向公开如下:,序,采购,预算,初步技术,金额,预计采,备,需求概况,参数,万,购时间,元),离子束刻蚀机1套,1、报价应为人民币【含税)且包括,服所辖高品价输费等险横閱价,政策而调整。*方除非因*方需求改,1.装载方彧用loadlock传输腔装载,,变或经*方同意,且不得增加任何费,2.样品尺寸:200mm;,用。,3工艺气体:惰性气体为主,选配氟基、氯基气体可实现,3、*方提供的物资质量应,RIBE工艺;,离子,符合国家标准。各项技术性能指标必,4.刻蚀线宽:最小CD50nm:,1,束刻,须达到哈同和技术文件规定的要求。,5.离子源:大于200mm口径离子源;,720,2023.8,蚀机,4、合同生效后,*方在6个月内完,6.适用范围:科研和小规模量产:,成货品运输、,安装及调试,7刻蚀材料介质材料(Si02,SiNx,等,非挥发材料(Pt,,5、提供1年免费维保;,Au,Ag,I,NiRe等),铁电材料(PZT,SBT等),III-,6、包装及资料全新未使用,V及II-VI化合物(GaAs,GaN,InP,CdZnTe等),其他,7、不能公开项目采购相关信息,包,材料:蓝宝石,钻石,氧化钢锡,氮化铝,金属氧化物等。,括数量及用途等,涉及物,资的全部技术资料等未经*方同意*,方不得向社会公开。,合计,720万,注:1.本次公开的采购意向仅作为供应商了解初步采购安排的参考,采购项目具体情况以最终发布的,采购公告和采购文件为准;,2供应商可以通过军队采购平台反馈参与意向和意见建议。,3.公示时间:从公示日起30天,4.联系人及电话:黄老师*,长沙某部,军队采购网,2023年7月3日
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