序号

采购项目名称

需求概况

初步技术
参数

预算金额

（万元）

预计采购时间

备注

1

离子束刻蚀机

离子束刻蚀机1套

1、报价应为人民币（含税）且包括服务、售后、运输费等全部费用。

2、所有产品价 (略) 场调价政策而调整。*方除非因*方需求改变或经*方同意，且不得增加任何费用。

3、*方提供的物资质量应符合国家标准。各项技术性能指标必须达到合同和技术文件规定的要求。

4、合同生效后，*方在6个月内完成货品运输、安装及调试

5、提供1年免费维保；

6、包装及资料全新未使用。

7、不能公开项目采购相关信息，包括数量及用途等，涉及物资的全部技术资料等未经*方同意*方不得向社会公开。

1.装载方式: 采用loadlock传输腔装载;

2.样品尺寸:200 mm;

3.工艺气体:惰性气体为主，选配氟基、氯基气体可实现 RIBE 工艺;

4.刻蚀线宽: 最小 CD 50 nm;

5.离子源: 大于200 mm口径离子源;

6.适用范围: 科研和小规模量产;

7.刻蚀材料:介质材料 (Si02，SiNx,等，非挥发材料 (Pt，Au，Ag，I，NiRe 等)，铁电材料(PZT，SBT 等)， III-V 及 II-VI化合物 (GaAs，GaN，InP，CdZnTe 等)，其他材料: 蓝宝石，钻石，氧化钢锡，氮化铝，金属氧化物等。

720

2023.8

合计

720万

序号

采购项目名称

需求概况

初步技术
参数

预算金额

（万元）

预计采购时间

备注

1

离子束刻蚀机

离子束刻蚀机1套

1、报价应为人民币（含税）且包括服务、售后、运输费等全部费用。

2、所有产品价 (略) 场调价政策而调整。*方除非因*方需求改变或经*方同意，且不得增加任何费用。

3、*方提供的物资质量应符合国家标准。各项技术性能指标必须达到合同和技术文件规定的要求。

4、合同生效后，*方在6个月内完成货品运输、安装及调试

5、提供1年免费维保；

6、包装及资料全新未使用。

7、不能公开项目采购相关信息，包括数量及用途等，涉及物资的全部技术资料等未经*方同意*方不得向社会公开。

1.装载方式: 采用loadlock传输腔装载;

2.样品尺寸:200 mm;

3.工艺气体:惰性气体为主，选配氟基、氯基气体可实现 RIBE 工艺;

4.刻蚀线宽: 最小 CD 50 nm;

5.离子源: 大于200 mm口径离子源;

6.适用范围: 科研和小规模量产;

7.刻蚀材料:介质材料 (Si02，SiNx,等，非挥发材料 (Pt，Au，Ag，I，NiRe 等)，铁电材料(PZT，SBT 等)， III-V 及 II-VI化合物 (GaAs，GaN，InP，CdZnTe 等)，其他材料: 蓝宝石，钻石，氧化钢锡，氮化铝，金属氧化物等。

720

2023.8

合计

720万