序号

采购项目名称

需求概况

初步技术
参数

预算金额

（万元）

预计采购时间

备注

1

紫外曝光机系统

紫外曝光机系统1套

1、报价应为人民币（含税）且包括服务、售后、运输费等全部费用。

2、所有产品价 (略) 场调价政策而调整。*方除非因*方需求改变或经*方同意，且不得增加任何费用。

3、*方提供的物资质量应符合国家标准。各项技术性能指标必须达到合同和技术文件规定的要求。

4、合同生效后，*方在6个月内完成货品运输、安装及调试

5、提供1年免费维保；

6、包装及资料全新未使用。

7、不能公开项目采购相关信息，包括数量及用途等，涉及物资的全部技术资料等未经*方同意*方不得向社会公开。

1、具有稳定可靠的三轴式芯片厚度补偿系统，可对芯片进行自调平和真空吸附，适配不同尺寸晶圆及不规则小片；

2、配备专用减震系统，能有效消除周围环境对光刻工艺带来的影响；

3、曝光波长包括365nm, 405nm, 436nm，UV-LED光源系统包括I-line(365nm)，H-line(405nm)以及G-line(436nm)三种波长LED灯阵列；

4、分辨率：优于1.0mm；

5、 套刻精度：正面套刻精度优于±0.5mm；背面套刻精度优于±1mm；

6、曝光模式：可支持硬接触、软接触、接近和真空等模式；

7、光刻机具备手动及全自动对准工作模式，进行快速高精度对准，且可自由切换；

8、全自动电动对准台，对准台在X-Y及Z轴方向移动完全无需人工操作，可支持全计算机自动控制或由摇杆控制，两种工作模式随时切换。

465

2023.8

合计

465万

序号

采购项目名称

需求概况

初步技术
参数

预算金额

（万元）

预计采购时间

备注

1

紫外曝光机系统

紫外曝光机系统1套

1、报价应为人民币（含税）且包括服务、售后、运输费等全部费用。

2、所有产品价 (略) 场调价政策而调整。*方除非因*方需求改变或经*方同意，且不得增加任何费用。

3、*方提供的物资质量应符合国家标准。各项技术性能指标必须达到合同和技术文件规定的要求。

4、合同生效后，*方在6个月内完成货品运输、安装及调试

5、提供1年免费维保；

6、包装及资料全新未使用。

7、不能公开项目采购相关信息，包括数量及用途等，涉及物资的全部技术资料等未经*方同意*方不得向社会公开。

1、具有稳定可靠的三轴式芯片厚度补偿系统，可对芯片进行自调平和真空吸附，适配不同尺寸晶圆及不规则小片；

2、配备专用减震系统，能有效消除周围环境对光刻工艺带来的影响；

3、曝光波长包括365nm, 405nm, 436nm，UV-LED光源系统包括I-line(365nm)，H-line(405nm)以及G-line(436nm)三种波长LED灯阵列；

4、分辨率：优于1.0mm；

5、 套刻精度：正面套刻精度优于±0.5mm；背面套刻精度优于±1mm；

6、曝光模式：可支持硬接触、软接触、接近和真空等模式；

7、光刻机具备手动及全自动对准工作模式，进行快速高精度对准，且可自由切换；

8、全自动电动对准台，对准台在X-Y及Z轴方向移动完全无需人工操作，可支持全计算机自动控制或由摇杆控制，两种工作模式随时切换。

465

2023.8

合计

465万