为便于供应商及时了解军队采购信息，根据《军队物资服务集中采购需求管理暂行办法》等有关规定， (略) (略) 某单位的磁控溅射镀膜机采购项目 采购意向公开如下：

一、采购项目名称

磁控溅射镀膜机。

二、需求概况

磁控溅射镀膜机1台：

1、报价应为人民币（含税）且包括服务、售后、运输费等全部费用。

2、所有产品价 (略) 场调价政策而调整。*方除非因*方需求改变或经*方同意，且不得增加任何费用。

3、*方提供的物资质量应符合国家标准。各项技术性能指标必须达到合同和技术文件规定的要求。

4、合同生效后，*方在2个月内完成货品运输、安装及调试

5、提供2年免费维保；

6、包装及资料全新未使用。

7、不能公开项目采购相关信息，包括数量及用途等，涉及物资的全部技术资料等未经*方同意*方不得向社会公开。

三、初步技术参数

1、工件台尺寸：圆形工件台，直径230毫米（9英寸）；

2、多片装载量：可装载五个9英寸样品；

3、靶枪数量：四个直径4英寸可调角度靶枪；

4、极限真空：优于5E-5Pa；

5、抽气速率：工艺腔从大气抽到5E-4Pa的时间少于30分钟；

6、工艺恢复时间：工艺腔传送样品后恢复到5E-4Pa的时间少于15分钟；

7、漏率：优于5E-3Pa.L/s；

8、工件台转速：0至20转/分钟，可调；

9、工件台温度：工件台可通水冷却，保证工艺最高温度不超过80℃；

10、镀膜均匀性：直径230毫米（9英寸）范围内均匀性优于±3%；

11、镀膜重复性：批次间重复性优于±2%；

四、预算金额（万元）

260万元。

五、预计采购时间

2023年9月

注：1.本次公开的采购意向仅作为供应商了解初步采购安排的参考，采购项目具体情况以最终发布的采购公告和采购文件为准；

2.供应商可以通过军队采购平台反馈参与意向和意见建议。

3.公示时间：从公示日起15天

4.联系人及电话：罗老师 *

为便于供应商及时了解军队采购信息，根据《军队物资服务集中采购需求管理暂行办法》等有关规定， (略) (略) 某单位的磁控溅射镀膜机采购项目 采购意向公开如下：

一、采购项目名称

磁控溅射镀膜机。

二、需求概况

磁控溅射镀膜机1台：

1、报价应为人民币（含税）且包括服务、售后、运输费等全部费用。

2、所有产品价 (略) 场调价政策而调整。*方除非因*方需求改变或经*方同意，且不得增加任何费用。

3、*方提供的物资质量应符合国家标准。各项技术性能指标必须达到合同和技术文件规定的要求。

4、合同生效后，*方在2个月内完成货品运输、安装及调试

5、提供2年免费维保；

6、包装及资料全新未使用。

7、不能公开项目采购相关信息，包括数量及用途等，涉及物资的全部技术资料等未经*方同意*方不得向社会公开。

三、初步技术参数

1、工件台尺寸：圆形工件台，直径230毫米（9英寸）；

2、多片装载量：可装载五个9英寸样品；

3、靶枪数量：四个直径4英寸可调角度靶枪；

4、极限真空：优于5E-5Pa；

5、抽气速率：工艺腔从大气抽到5E-4Pa的时间少于30分钟；

6、工艺恢复时间：工艺腔传送样品后恢复到5E-4Pa的时间少于15分钟；

7、漏率：优于5E-3Pa.L/s；

8、工件台转速：0至20转/分钟，可调；

9、工件台温度：工件台可通水冷却，保证工艺最高温度不超过80℃；

10、镀膜均匀性：直径230毫米（9英寸）范围内均匀性优于±3%；

11、镀膜重复性：批次间重复性优于±2%；

四、预算金额（万元）

260万元。

五、预计采购时间

2023年9月

注：1.本次公开的采购意向仅作为供应商了解初步采购安排的参考，采购项目具体情况以最终发布的采购公告和采购文件为准；

2.供应商可以通过军队采购平台反馈参与意向和意见建议。

3.公示时间：从公示日起15天

4.联系人及电话：罗老师 *