西安电子科技大学2023年9月政府采购意向-磁控溅射台其他电工、电子生产设-预算金额万元人民币
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西安电子科技大学2023年9月政府采购意向-磁控溅射台其他电工、电子生产设-预算金额万元人民币
| 磁控溅射台 | |
| 项目所在采购意向： | 西安电子科技大学2023年9月政府采购意向 |
| 采购单位： | 西安电子科技大学 |
| 采购项目名称： | 磁控溅射台 |
| 预算金额： | 390.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A* 其他电工、电子生产设备 |
| 采购需求概况： | 1台。Ф500×H500mm（以最终设计为准），304优质不锈钢制造，双层水冷结构；配有Load-Lock系统，样片室中的气缸驱动式机械手，完成自动/手动送样/取样过程，可负载4吋样品单片；溅射室：涡轮分子泵+旋片式机械泵+高真空阀门组合的高真空系统，数显复合真空计；Load-lock室：旋片式机械泵+阀门组合的真空系统，数显真空计；溅射室极限：4.0×10-5Pa（空载，经烘烤除气后）；Load-lock室极限：3.0×10-1Pa（空载，经烘烤除气后）；溅射室抽速：空载）从大气抽至4.0×10-4Pa≤30min；（环境温度≤25℃，环境湿度≤50）；Load-lock室抽速：从大气抽至3.0×10-1Pa≤20min；（环境温度≤25℃，环境湿度≤50）；报警及保护：对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施；完善的逻辑程序互锁保护系统。 |
| 预计采购时间： | 2023-09 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 磁控溅射台 | |
| 项目所在采购意向： | 西安电子科技大学2023年9月政府采购意向 |
| 采购单位： | 西安电子科技大学 |
| 采购项目名称： | 磁控溅射台 |
| 预算金额： | 390.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A* 其他电工、电子生产设备 |
| 采购需求概况： | 1台。Ф500×H500mm（以最终设计为准），304优质不锈钢制造，双层水冷结构；配有Load-Lock系统，样片室中的气缸驱动式机械手，完成自动/手动送样/取样过程，可负载4吋样品单片；溅射室：涡轮分子泵+旋片式机械泵+高真空阀门组合的高真空系统，数显复合真空计；Load-lock室：旋片式机械泵+阀门组合的真空系统，数显真空计；溅射室极限：4.0×10-5Pa（空载，经烘烤除气后）；Load-lock室极限：3.0×10-1Pa（空载，经烘烤除气后）；溅射室抽速：空载）从大气抽至4.0×10-4Pa≤30min；（环境温度≤25℃，环境湿度≤50）；Load-lock室抽速：从大气抽至3.0×10-1Pa≤20min；（环境温度≤25℃，环境湿度≤50）；报警及保护：对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施；完善的逻辑程序互锁保护系统。 |
| 预计采购时间： | 2023-09 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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