上海大学2023年08月政府采购意向

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上海大学2023年08月政府采购意向

为便于供应商及时了解政府采购信息,根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》(财库〔2020〕10号)等有关规定,现将 上海大学2023年8月采购意向公开 如下:

序号 采购项目名称 采购需求概况 预算金额(元) 预计采购时间(填写到月) 备注
1 多功能衬底表面化学机械抛光设备 将化学溶液和机械研磨结合在一起,依靠研磨头在材料表面施加压力和摩擦来去除材料,实现表面的平坦化和抛光。
由研磨抛光头、定位卡盘、驱动系统、供液系统、终点检测系统及其他配件组成;抛光头尺寸:≥8寸;抛光头加压方式:分区加压控制,压力区≥2,最小压力≤0.3 psi,最大压力≥5.5 psi,误差≤±0.1 psi;具备摩擦扭力、光学、电涡流检测能力,能满足硅、氧化硅、铜、钨等材料的检测;研磨液路数目大于等于2;自带纯水管路和泵,能实现研磨液管路自动冲洗。交货期:合同签订后8个月内,质保期2年
*.00 2023-08

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。


上海大学



信息来源:http://**
,上海

为便于供应商及时了解政府采购信息,根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》(财库〔2020〕10号)等有关规定,现将 上海大学2023年8月采购意向公开 如下:

序号 采购项目名称 采购需求概况 预算金额(元) 预计采购时间(填写到月) 备注
1 多功能衬底表面化学机械抛光设备 将化学溶液和机械研磨结合在一起,依靠研磨头在材料表面施加压力和摩擦来去除材料,实现表面的平坦化和抛光。
由研磨抛光头、定位卡盘、驱动系统、供液系统、终点检测系统及其他配件组成;抛光头尺寸:≥8寸;抛光头加压方式:分区加压控制,压力区≥2,最小压力≤0.3 psi,最大压力≥5.5 psi,误差≤±0.1 psi;具备摩擦扭力、光学、电涡流检测能力,能满足硅、氧化硅、铜、钨等材料的检测;研磨液路数目大于等于2;自带纯水管路和泵,能实现研磨液管路自动冲洗。交货期:合同签订后8个月内,质保期2年
*.00 2023-08

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。


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