上海大学2023年08月政府采购意向-晶圆键合对准设备
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上海大学2023年08月政府采购意向-晶圆键合对准设备
| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 预算金额（元） | 预计采购时间（填写到月） | 备注 |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 晶圆键合对准设备 | 可以实现晶圆的键合预对准 晶圆尺寸：150mm晶圆； 顶面对齐精度：≤±0.5μm 底面对齐精度：≤±1.0μm 键合对准精度：≤±2.0μm UV-LED光源（包含I-line(365nm)，H-line(405nm)以及G-line(436nm），波长可以设定，光强均匀度：≤ 4％。 支持双面对准的6英寸，4英寸晶圆托盘。 供货签订合同后7个月，质保2年。 | *.00 | 2023-08 |
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| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 预算金额（元） | 预计采购时间（填写到月） | 备注 |
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| 1 | 晶圆键合对准设备 | 可以实现晶圆的键合预对准 晶圆尺寸：150mm晶圆； 顶面对齐精度：≤±0.5μm 底面对齐精度：≤±1.0μm 键合对准精度：≤±2.0μm UV-LED光源（包含I-line(365nm)，H-line(405nm)以及G-line(436nm），波长可以设定，光强均匀度：≤ 4％。 支持双面对准的6英寸，4英寸晶圆托盘。 供货签订合同后7个月，质保2年。 | *.00 | 2023-08 |
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