中国科学院金属研究所2023年7至12月政府采购意向-高端三室分子束外延设备真空应用设备-预算金额万元人民币

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中国科学院金属研究所2023年7至12月政府采购意向-高端三室分子束外延设备真空应用设备-预算金额万元人民币

高端三室分子束外延设备
项目所在采购意向: (略) 金属研究所2023年7至12月政府采购意向
采购单位: (略) 金属研究所
采购项目名称:高端三室分子束外延设备
预算金额:890.*万元(人民币)
采购品目:
A*真空应用设备
采购需求概况:
(1)外延室极限真空度≤5×10-9Pa;(2)束源炉数量≥11个(包括镓炉、铝炉、铟炉、砷裂解炉、锑裂解炉、硅掺杂炉、铍掺杂炉、碲化镓掺杂炉)(3)衬底尺寸4英寸(兼容3片2英寸),衬底架最高加热温度1050℃,控温精度±0.5℃;
预计采购时间:2023-09
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

, (略)
高端三室分子束外延设备
项目所在采购意向: (略) 金属研究所2023年7至12月政府采购意向
采购单位: (略) 金属研究所
采购项目名称:高端三室分子束外延设备
预算金额:890.*万元(人民币)
采购品目:
A*真空应用设备
采购需求概况:
(1)外延室极限真空度≤5×10-9Pa;(2)束源炉数量≥11个(包括镓炉、铝炉、铟炉、砷裂解炉、锑裂解炉、硅掺杂炉、铍掺杂炉、碲化镓掺杂炉)(3)衬底尺寸4英寸(兼容3片2英寸),衬底架最高加热温度1050℃,控温精度±0.5℃;
预计采购时间:2023-09
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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