中国科学院金属研究所2023年7至12月政府采购意向-高端三室分子束外延设备真空应用设备-预算金额万元人民币
中国科学院金属研究所2023年7至12月政府采购意向-高端三室分子束外延设备真空应用设备-预算金额万元人民币
高端三室分子束外延设备 | |
项目所在采购意向: | (略) 金属研究所2023年7至12月政府采购意向 |
采购单位: | (略) 金属研究所 |
采购项目名称: | 高端三室分子束外延设备 |
预算金额: | 890.*万元(人民币) |
采购品目: | A*真空应用设备 |
采购需求概况: | (1)外延室极限真空度≤5×10-9Pa;(2)束源炉数量≥11个(包括镓炉、铝炉、铟炉、砷裂解炉、锑裂解炉、硅掺杂炉、铍掺杂炉、碲化镓掺杂炉)(3)衬底尺寸4英寸(兼容3片2英寸),衬底架最高加热温度1050℃,控温精度±0.5℃; |
预计采购时间: | 2023-09 |
备注: |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
高端三室分子束外延设备 | |
项目所在采购意向: | (略) 金属研究所2023年7至12月政府采购意向 |
采购单位: | (略) 金属研究所 |
采购项目名称: | 高端三室分子束外延设备 |
预算金额: | 890.*万元(人民币) |
采购品目: | A*真空应用设备 |
采购需求概况: | (1)外延室极限真空度≤5×10-9Pa;(2)束源炉数量≥11个(包括镓炉、铝炉、铟炉、砷裂解炉、锑裂解炉、硅掺杂炉、铍掺杂炉、碲化镓掺杂炉)(3)衬底尺寸4英寸(兼容3片2英寸),衬底架最高加热温度1050℃,控温精度±0.5℃; |
预计采购时间: | 2023-09 |
备注: |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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