A* 半导体器件参数测量仪

8寸晶圆测试探针台一套，采购要求为： 配置半自动探针台主机1台、全自动测试软件1套。指标：半自动探针台主机：★1半自动探针台，手动上下片，半自动化测试，可通过软件进行探针台和测试仪表的联动控制，支持8英英寸及8英寸以下各种规格晶圆，以及单个芯片，可升级为支持SEMI标准wafer的全自动探针台系统；2带防震系统；★3独立的台面升降控制机构，可快速脱离探针与芯片的接触，行程5mm，位置重复精度≤3um；4X-Y Stage（X-Y平台）;4.1测试范围 ≤200mm的晶圆；4.2X-Y移动范围≥203mm×203mm；★4.3X-Y移动分辨率≤0.2um；4.4重复性≤1.5um；★4.4.5最大速度 ≥100mm/s；5Z stage；5.1行程 ≥35 mm；5.2分辨率 ≤1 μm；5.3重复性 ≤ 1 μm；6Theta；★6.1移动范围≥±7.5°;6.2可重复性 ≤1 .5μm；7Microchamber(微暗室）;★7.1EMI屏蔽：≥20dB 0.5GHz–20GHz；7.2光屏蔽 ≥ 120 dB；7.3噪声≤-150 dBVrms/rtHz (≤ 1 MHz)；8Wafer and AUX Chuck（载物台）；8.1载物台尺寸：8英寸；8.2子载物台，3个独立子载物台，用于放置清针片等；★8.3载物台可拉出平台：载物台装备一个可拉出的平台，该平台伸展开固定后能远远超出台板和微暗室98%的范围，从而能够无障碍地放置和取下晶片和辅助性载物台设施；★8.4载片台漏电≤20fA，100fA以内的漏电稳定时间≤2s；9 Digital Imaging System(数字图像观察系统）；9.1成像系统：数字化成像，自动聚焦，具备手动控制器和软件控制两种控制方式，具备两路独立工作的CCD；★9.2具有自动切换放大倍率功能，不需要更换物镜镜头。自动测试软件：具有具备自动芯片不平整度扫描和补偿功能，基于图像识别技术的补偿由于芯片温度变化或者探针台走位误差导致的接触问题的功能；售后：1报价为CIP山东大学价；2交货时间为收到信用证6个月内；3 100%信用证，其中90%货款凭装运单据支付，10%尾款凭验收小组签字确认且加盖公章的验收报告支付；4质保期为1年，在验收合格之日起到保修期满前一个月内，进行一次现场全面免费检查，并写出正式报告。如发现问题应负责解决；5维修响应一般情况下4—8小时，终身维修。一般问题应在1周内解决，重大问题或其它无法迅速解决的问题应在1月内解决或提出明确解决方案，否则供应商应赔偿相应损失；6供应商应定期回访用户；7供应商必须列明保修期后的各项收费标准，需购买的附件和零配件的价格应按主机合同的折扣率给予优惠；8仪器中的软件享受终身免费级。

A* 半导体器件参数测量仪

8寸晶圆测试探针台一套，采购要求为： 配置半自动探针台主机1台、全自动测试软件1套。指标：半自动探针台主机：★1半自动探针台，手动上下片，半自动化测试，可通过软件进行探针台和测试仪表的联动控制，支持8英英寸及8英寸以下各种规格晶圆，以及单个芯片，可升级为支持SEMI标准wafer的全自动探针台系统；2带防震系统；★3独立的台面升降控制机构，可快速脱离探针与芯片的接触，行程5mm，位置重复精度≤3um；4X-Y Stage（X-Y平台）;4.1测试范围 ≤200mm的晶圆；4.2X-Y移动范围≥203mm×203mm；★4.3X-Y移动分辨率≤0.2um；4.4重复性≤1.5um；★4.4.5最大速度 ≥100mm/s；5Z stage；5.1行程 ≥35 mm；5.2分辨率 ≤1 μm；5.3重复性 ≤ 1 μm；6Theta；★6.1移动范围≥±7.5°;6.2可重复性 ≤1 .5μm；7Microchamber(微暗室）;★7.1EMI屏蔽：≥20dB 0.5GHz–20GHz；7.2光屏蔽 ≥ 120 dB；7.3噪声≤-150 dBVrms/rtHz (≤ 1 MHz)；8Wafer and AUX Chuck（载物台）；8.1载物台尺寸：8英寸；8.2子载物台，3个独立子载物台，用于放置清针片等；★8.3载物台可拉出平台：载物台装备一个可拉出的平台，该平台伸展开固定后能远远超出台板和微暗室98%的范围，从而能够无障碍地放置和取下晶片和辅助性载物台设施；★8.4载片台漏电≤20fA，100fA以内的漏电稳定时间≤2s；9 Digital Imaging System(数字图像观察系统）；9.1成像系统：数字化成像，自动聚焦，具备手动控制器和软件控制两种控制方式，具备两路独立工作的CCD；★9.2具有自动切换放大倍率功能，不需要更换物镜镜头。自动测试软件：具有具备自动芯片不平整度扫描和补偿功能，基于图像识别技术的补偿由于芯片温度变化或者探针台走位误差导致的接触问题的功能；售后：1报价为CIP山东大学价；2交货时间为收到信用证6个月内；3 100%信用证，其中90%货款凭装运单据支付，10%尾款凭验收小组签字确认且加盖公章的验收报告支付；4质保期为1年，在验收合格之日起到保修期满前一个月内，进行一次现场全面免费检查，并写出正式报告。如发现问题应负责解决；5维修响应一般情况下4—8小时，终身维修。一般问题应在1周内解决，重大问题或其它无法迅速解决的问题应在1月内解决或提出明确解决方案，否则供应商应赔偿相应损失；6供应商应定期回访用户；7供应商必须列明保修期后的各项收费标准，需购买的附件和零配件的价格应按主机合同的折扣率给予优惠；8仪器中的软件享受终身免费级。