深圳技术大学原子层沉积仪意向公开-其他仪器仪表
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深圳技术大学原子层沉积仪意向公开-其他仪器仪表
| 采购单位: | 深圳技术大学 |
| 项目名称: | 原子层沉积仪 |
| 预算金额（元）: | 4,490,000.000 |
| 采购品目: | 其他仪器仪表 |
| 采购需求概况: | 拟采购原子层沉积仪一套，配置包括：1、腔体：采用双层腔体结构，反应腔安装在真空腔体内；2、反应腔最高沉积温度≥450℃，控制精度±1℃；配备650℃基片加热盘，等离子工艺最高沉积温度500℃，热工艺最高沉积温度600℃；3、反应腔：最大可沉积200mm基片1个, 兼容小基片，配备6个独立的前躯体源管路接口；4、配备6路独立的前躯体源管路，配备前躯体源分别为：3个常温液态源、1个200℃加热源、2个300℃加热源、2个气体源和4路等离子气源；5、每个液态源单独配备半导体制冷温度控制器1套；6、气体源包含分别用于测量NH3/O2气体的质量流量计、管路、计算机控制的气动三通脉冲阀；7、等离子ALD和热ALD共用一个腔，功率范围100？3000W，可调频率范围RF1.7-3MHz；8、预真空室：1个预真空腔及其配备单独的干泵，可以传送8英寸及向下兼容基片，6寸以下基片采用托盘方式。 |
| 联系人: | 宋惠雪 |
| 联系电话: | 0755-* |
| 预计采购时间: | 2023-09 |
| 备注: | 无 |
| 采购单位: | 深圳技术大学 |
| 项目名称: | 原子层沉积仪 |
| 预算金额（元）: | 4,490,000.000 |
| 采购品目: | 其他仪器仪表 |
| 采购需求概况: | 拟采购原子层沉积仪一套，配置包括：1、腔体：采用双层腔体结构，反应腔安装在真空腔体内；2、反应腔最高沉积温度≥450℃，控制精度±1℃；配备650℃基片加热盘，等离子工艺最高沉积温度500℃，热工艺最高沉积温度600℃；3、反应腔：最大可沉积200mm基片1个, 兼容小基片，配备6个独立的前躯体源管路接口；4、配备6路独立的前躯体源管路，配备前躯体源分别为：3个常温液态源、1个200℃加热源、2个300℃加热源、2个气体源和4路等离子气源；5、每个液态源单独配备半导体制冷温度控制器1套；6、气体源包含分别用于测量NH3/O2气体的质量流量计、管路、计算机控制的气动三通脉冲阀；7、等离子ALD和热ALD共用一个腔，功率范围100？3000W，可调频率范围RF1.7-3MHz；8、预真空室：1个预真空腔及其配备单独的干泵，可以传送8英寸及向下兼容基片，6寸以下基片采用托盘方式。 |
| 联系人: | 宋惠雪 |
| 联系电话: | 0755-* |
| 预计采购时间: | 2023-09 |
| 备注: | 无 |
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