深圳技术大学金属有机物化学气相沉积仪意向公开-其他仪器仪表
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深圳技术大学金属有机物化学气相沉积仪意向公开-其他仪器仪表
| 采购单位: | 深圳技术大学 |
| 项目名称: | 金属有机物化学气相沉积仪 |
| 预算金额（元）: | 14,550,000.000 |
| 采购品目: | 其他仪器仪表 |
| 采购需求概况: | 拟采购金属有机物化学气相沉积仪一套，配置包括：1、 III-V族气源分别经过独立通道进入反应腔，腔体材质为不锈钢；2、 配有最高加热温度不低于950摄氏度的加热器，由三个可独立控制温度的圆环形加热区组成；3、反应腔兼容以下尺寸样品托盘：6个2英寸、1个4英寸、1个6英寸；4、GaAs膜厚均匀性：单片2英寸晶圆内≤2%，2英寸晶圆片间(6×2英寸)≤3%；5、单片2英寸晶圆内AlGaAs组分均匀性（Xmax-Xmin）/Xmean≤2%，膜厚均匀性≤3%；6、金属有机源气路不少于12条，载气及氢化物等气体气路不少于8条；7、H2,N2,AsH3,PH3配置标准单端口露点仪，做湿度监测；8、配有处理吸附磷的活性炭过滤与氧化单元，防止直接开盖维护造成磷自燃；9、采用405nm/633nm及950nm三个波长的激光对外延层生长状态在线监测，同时该系统具有温度、翘曲度监测功能；10、原位监测系统可对晶圆表面进行实时温度扫描，实时温度扫描在半径方向上不少于3个温区；11、原位监测系统获得的实时温度数据与加热器控制系统联动，实时温度数据实时反馈给加热控制器，自动调控加热功率，以优化面内温度均匀性。 |
| 联系人: | 宋惠雪 |
| 联系电话: | 0755-* |
| 预计采购时间: | 2023-09 |
| 备注: | 无 |
| 采购单位: | 深圳技术大学 |
| 项目名称: | 金属有机物化学气相沉积仪 |
| 预算金额（元）: | 14,550,000.000 |
| 采购品目: | 其他仪器仪表 |
| 采购需求概况: | 拟采购金属有机物化学气相沉积仪一套，配置包括：1、 III-V族气源分别经过独立通道进入反应腔，腔体材质为不锈钢；2、 配有最高加热温度不低于950摄氏度的加热器，由三个可独立控制温度的圆环形加热区组成；3、反应腔兼容以下尺寸样品托盘：6个2英寸、1个4英寸、1个6英寸；4、GaAs膜厚均匀性：单片2英寸晶圆内≤2%，2英寸晶圆片间(6×2英寸)≤3%；5、单片2英寸晶圆内AlGaAs组分均匀性（Xmax-Xmin）/Xmean≤2%，膜厚均匀性≤3%；6、金属有机源气路不少于12条，载气及氢化物等气体气路不少于8条；7、H2,N2,AsH3,PH3配置标准单端口露点仪，做湿度监测；8、配有处理吸附磷的活性炭过滤与氧化单元，防止直接开盖维护造成磷自燃；9、采用405nm/633nm及950nm三个波长的激光对外延层生长状态在线监测，同时该系统具有温度、翘曲度监测功能；10、原位监测系统可对晶圆表面进行实时温度扫描，实时温度扫描在半径方向上不少于3个温区；11、原位监测系统获得的实时温度数据与加热器控制系统联动，实时温度数据实时反馈给加热控制器，自动调控加热功率，以优化面内温度均匀性。 |
| 联系人: | 宋惠雪 |
| 联系电话: | 0755-* |
| 预计采购时间: | 2023-09 |
| 备注: | 无 |
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