全自动真空镀膜设备招标预告
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全自动真空镀膜设备招标预告
| 全自动真空镀膜设备 | |
| 项目所在采购意向： | 国家纳米科学中心2023年8至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 国家纳米科学中心 |
| 采购项目名称： | 全自动真空镀膜设备 |
| 预算金额： | 1280.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他试验仪器及装置 |
| 采购需求概况 ： | 国家纳米科学中心承担多项极限纳米加工方面相关的国家科研项目。高质量纳米薄膜制备是纳米加工的核心技术之一，而前沿研究对薄膜均一性/致密性调控及其与极限尺寸/质量的纳米结构关联制备工艺匹配方面提出了更高要求。因此拟购置全自动真空镀膜设备，用于制备高均一性/致密性的金属及介质薄膜。该设备操作系统需支持全自动控制，工件台结构兼容8英寸及以下晶圆和厘米级碎片装卸，具有低的背底极限真空，具有除气-预清洁原位去除有机残留物/自然氧化层功能。 |
| 预计采购时间： | 2023-09 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 全自动真空镀膜设备 | |
| 项目所在采购意向： | 国家纳米科学中心2023年8至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 国家纳米科学中心 |
| 采购项目名称： | 全自动真空镀膜设备 |
| 预算金额： | 1280.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他试验仪器及装置 |
| 采购需求概况 ： | 国家纳米科学中心承担多项极限纳米加工方面相关的国家科研项目。高质量纳米薄膜制备是纳米加工的核心技术之一，而前沿研究对薄膜均一性/致密性调控及其与极限尺寸/质量的纳米结构关联制备工艺匹配方面提出了更高要求。因此拟购置全自动真空镀膜设备，用于制备高均一性/致密性的金属及介质薄膜。该设备操作系统需支持全自动控制，工件台结构兼容8英寸及以下晶圆和厘米级碎片装卸，具有低的背底极限真空，具有除气-预清洁原位去除有机残留物/自然氧化层功能。 |
| 预计采购时间： | 2023-09 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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