上海大学2023年08月政府采购意向-多功能衬底表面化学机械抛光设备
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上海大学2023年08月政府采购意向-多功能衬底表面化学机械抛光设备
| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 预算金额（元） | 预计采购时间（填写到月） | 备注 |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 多功能衬底表面化学机械抛光设备 | 将化学溶液和机械研磨结合在一起，依靠研磨头在材料表面施加压力和摩擦来去除材料，实现表面的平坦化和抛光。 由研磨抛光头、定位卡盘、驱动系统、供液系统、终点检测系统及其他配件组成；抛光头尺寸：≥8寸；抛光头加压方式：分区加压控制，压力区≥2，最小压力≤0.3 psi，最大压力≥5.5 psi，误差≤±0.1 psi；具备摩擦扭力、光学、电涡流检测能力，能满足硅、氧化硅、铜、钨等材料的检测；研磨液路数目大于等于2；自带纯水管路和泵，能实现研磨液管路自动冲洗。交货期：合同签订后8个月内，质保期2年 | *.00 | 2023-08 |
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| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 预算金额（元） | 预计采购时间（填写到月） | 备注 |
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| 1 | 多功能衬底表面化学机械抛光设备 | 将化学溶液和机械研磨结合在一起，依靠研磨头在材料表面施加压力和摩擦来去除材料，实现表面的平坦化和抛光。 由研磨抛光头、定位卡盘、驱动系统、供液系统、终点检测系统及其他配件组成；抛光头尺寸：≥8寸；抛光头加压方式：分区加压控制，压力区≥2，最小压力≤0.3 psi，最大压力≥5.5 psi，误差≤±0.1 psi；具备摩擦扭力、光学、电涡流检测能力，能满足硅、氧化硅、铜、钨等材料的检测；研磨液路数目大于等于2；自带纯水管路和泵，能实现研磨液管路自动冲洗。交货期：合同签订后8个月内，质保期2年 | *.00 | 2023-08 |
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