国科大杭州高等研究院2023年8月至10月政府采购意向-电子束显微镜SEM附带电子束光刻配件EBL
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国科大杭州高等研究院2023年8月至10月政府采购意向-电子束显微镜SEM附带电子束光刻配件EBL
国科大杭 (略) 2023年8月至10月政府采购意向
| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 预算金额（元） | 预计采购时间（填写到月） | 落实政府采购政策功能情况 | 备注 |
| 1 | 电子束显微镜（SEM）附带电子束光刻配件（EBL） | 束流稳定性优于0.2%/h；二次电子分辨率1.*@*5kv;放大倍率10~*倍；支持6寸wafer,换样时间小于50s;刻蚀最小线宽小于50 nm | * | 2023年10月 | 联系人：杨老师 联系电话：* | |
| 2 | 三维纳米力电磁耦合测试系统 | 1.系统噪音：X,Y轴闭环噪音＜60pm；Z方向高度噪音＜15pm；2.自动化控制：通过软件控制马达驱动探测激光点位置，无需手动旋钮调节；通过软件控制马达驱动光电检测器(PD)位置调节，无需手动旋钮调节。3.光学系统：光电检测器带宽≥7MHz；光学分辨率≤1μm。 | * | 2023年10月 | 联系人：梁老师 联系电话：* | |
| 3 | 大型平行光管（F≥10m） | 1：光谱范围：全波段（优先保证0.4μm~20μm） 2：主镜技术参数： a，口径：D≥550mm； b，焦距f≥10000mm±1% c，系统波前RMS≤λ/20（@632.8nm） d，反射率≥85% e：镀膜：表面镀金属反射膜（金、银、铝）再镀保护膜 3.出射光束平行度：≤3″ | * | 2023年10月 | 联系人：刘老师 联系电话：* | |
| 4 | 气体分析仪 | 1 ：光谱范围：4500–650cm-1 2： 分辨率：优于0.5cm-1，连续可调。 3：定量算法：实时谱型拟合定性定量算法，以混合峰型拟合为基础，分别拟合目标气与干扰气的谱型，不采用标准曲线方法。无需标准气体标定，无需自建标准曲线。 4：.检测气体种类：不少于300种 5：检测浓度范围：ppb-100%，不更换任何部件。 6.波数精度：优于0.05cm-1 @ 2000cm-1 | * | 2023年10月 | 联系人：刘老师 联系电话：* |
国科大杭 (略) 2023年8月至10月政府采购意向
| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 预算金额（元） | 预计采购时间（填写到月） | 落实政府采购政策功能情况 | 备注 |
| 1 | 电子束显微镜（SEM）附带电子束光刻配件（EBL） | 束流稳定性优于0.2%/h；二次电子分辨率1.*@*5kv;放大倍率10~*倍；支持6寸wafer,换样时间小于50s;刻蚀最小线宽小于50 nm | * | 2023年10月 | 联系人：杨老师 联系电话：* | |
| 2 | 三维纳米力电磁耦合测试系统 | 1.系统噪音：X,Y轴闭环噪音＜60pm；Z方向高度噪音＜15pm；2.自动化控制：通过软件控制马达驱动探测激光点位置，无需手动旋钮调节；通过软件控制马达驱动光电检测器(PD)位置调节，无需手动旋钮调节。3.光学系统：光电检测器带宽≥7MHz；光学分辨率≤1μm。 | * | 2023年10月 | 联系人：梁老师 联系电话：* | |
| 3 | 大型平行光管（F≥10m） | 1：光谱范围：全波段（优先保证0.4μm~20μm） 2：主镜技术参数： a，口径：D≥550mm； b，焦距f≥10000mm±1% c，系统波前RMS≤λ/20（@632.8nm） d，反射率≥85% e：镀膜：表面镀金属反射膜（金、银、铝）再镀保护膜 3.出射光束平行度：≤3″ | * | 2023年10月 | 联系人：刘老师 联系电话：* | |
| 4 | 气体分析仪 | 1 ：光谱范围：4500–650cm-1 2： 分辨率：优于0.5cm-1，连续可调。 3：定量算法：实时谱型拟合定性定量算法，以混合峰型拟合为基础，分别拟合目标气与干扰气的谱型，不采用标准曲线方法。无需标准气体标定，无需自建标准曲线。 4：.检测气体种类：不少于300种 5：检测浓度范围：ppb-100%，不更换任何部件。 6.波数精度：优于0.05cm-1 @ 2000cm-1 | * | 2023年10月 | 联系人：刘老师 联系电话：* |
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