深圳大学光刻配套系统意向公开-电子工业生产设备
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深圳大学光刻配套系统意向公开-电子工业生产设备
| 采购单位: | 深圳大学 |
| 项目名称: | 光刻配套系统 |
| 预算金额（元）: | 2,130,000.000 |
| 采购品目: | 电子工业生产设备 |
| 采购需求概况: | 该套系统由显影机、匀胶机、烤胶机、晶圆甩干机、超声清洗机、通风厨组成。超声清洗机利用超声破坏污物与晶圆间的吸附，达到清洗的目的；晶圆甩干机晶圆清洗后干燥设备；匀胶机利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上，以便进行光刻曝光；显影机用于掩膜版上的图案复刻在晶圆上，通过溶解光刻胶使图形进行复刻；通风厨保护操作人员不受化学药品、气体的污染，该系统能够应用于光刻前后的工艺实施操作。 |
| 联系人: | 王老师 |
| 联系电话: | 0755-* |
| 预计采购时间: | 2023-09 |
| 备注: | 无 |
| 采购单位: | 深圳大学 |
| 项目名称: | 光刻配套系统 |
| 预算金额（元）: | 2,130,000.000 |
| 采购品目: | 电子工业生产设备 |
| 采购需求概况: | 该套系统由显影机、匀胶机、烤胶机、晶圆甩干机、超声清洗机、通风厨组成。超声清洗机利用超声破坏污物与晶圆间的吸附，达到清洗的目的；晶圆甩干机晶圆清洗后干燥设备；匀胶机利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上，以便进行光刻曝光；显影机用于掩膜版上的图案复刻在晶圆上，通过溶解光刻胶使图形进行复刻；通风厨保护操作人员不受化学药品、气体的污染，该系统能够应用于光刻前后的工艺实施操作。 |
| 联系人: | 王老师 |
| 联系电话: | 0755-* |
| 预计采购时间: | 2023-09 |
| 备注: | 无 |
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