南京理工大学2023年10月政府采购意向-大写场高精度电子束光刻机-电子工业专用生产设备-预算金额万元人民币
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南京理工大学2023年10月政府采购意向-大写场高精度电子束光刻机-电子工业专用生产设备-预算金额万元人民币
| 大写场高精度电子束光刻机 | |
| 项目所在采购意向： | 南京理工大学2023年10月政府采购意向 |
| 采购单位： | 南京理工大学 |
| 采购项目名称： | 大写场高精度电子束光刻机 |
| 预算金额： | 1050.*万元(人民币) |
| 采购品目： | 电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况： | 大写场高精度电子束光刻机1台。主要功能：可实现光刻胶的高精度电子束曝光，采用肖特基场发射电子源，加速电压不低于50KV，设备最大写场不小于1000um，配备激光干涉台，XY轴的行程不小于150mm*150mm，光刻精度优于50nm。质保期至少1年。 |
| 预计采购时间： | 2023-10 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 大写场高精度电子束光刻机 | |
| 项目所在采购意向： | 南京理工大学2023年10月政府采购意向 |
| 采购单位： | 南京理工大学 |
| 采购项目名称： | 大写场高精度电子束光刻机 |
| 预算金额： | 1050.*万元(人民币) |
| 采购品目： | 电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况： | 大写场高精度电子束光刻机1台。主要功能：可实现光刻胶的高精度电子束曝光，采用肖特基场发射电子源，加速电压不低于50KV，设备最大写场不小于1000um，配备激光干涉台，XY轴的行程不小于150mm*150mm，光刻精度优于50nm。质保期至少1年。 |
| 预计采购时间： | 2023-10 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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