重庆市计量质量检测研究院2023年9月政府采购意向-大尺寸扫描探针显微系统-采招网

重庆市计量质量检测研究院2023年9月政府采购意向-大尺寸扫描探针显微系统

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重庆市计量质量检测研究院2023年9月政府采购意向-大尺寸扫描探针显微系统

(略) 计量质 (略) 2023年9月政府采购意向
为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将 (略) 计量质 (略) 2023年9月政府采购意向公开如下：

采购项目名称	预算金额（万元）	需求调查概况	备注
大尺寸扫描探针显微系统	141.00	近年来国家在西南地区进行了规模庞大的与微电子产业和3C产业相关的投资和布局，如半导体封装制造、显示屏生产制造等行业， (略) (略) ，而这类代表着先进制造与高端智能制造的企业，生产的基本都是超精密器件，而如何快速准确地检测出表征精密器件表面质量的粗糙度、微观轮廓尺寸等参数已是各制造企业的重要需求。大尺寸扫描探针显微系统是纳米结构几何参数（例如临界尺寸、高度、侧壁角度、线宽等）测量的重要工具，随着半导体制造工艺的不断发展，大尺寸扫描探针显微系统在该领域的应用不仅仅只局限于三维形貌测量，开展大尺寸扫描探针显微系统计量特性研究，将测量结果溯源到长度单位“米”的定义上来，能够保证测量结果的准确性、重复性、可靠性和可比性，同时国内目前在原子力显微镜以及微纳标准样板计量检测领域还没有较为通用的计量检测规范	无

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

采购项目名称	预算金额（万元）	需求调查概况	备注
大尺寸扫描探针显微系统	141.00	近年来国家在西南地区进行了规模庞大的与微电子产业和3C产业相关的投资和布局，如半导体封装制造、显示屏生产制造等行业， (略) (略) ，而这类代表着先进制造与高端智能制造的企业，生产的基本都是超精密器件，而如何快速准确地检测出表征精密器件表面质量的粗糙度、微观轮廓尺寸等参数已是各制造企业的重要需求。大尺寸扫描探针显微系统是纳米结构几何参数（例如临界尺寸、高度、侧壁角度、线宽等）测量的重要工具，随着半导体制造工艺的不断发展，大尺寸扫描探针显微系统在该领域的应用不仅仅只局限于三维形貌测量，开展大尺寸扫描探针显微系统计量特性研究，将测量结果溯源到长度单位“米”的定义上来，能够保证测量结果的准确性、重复性、可靠性和可比性，同时国内目前在原子力显微镜以及微纳标准样板计量检测领域还没有较为通用的计量检测规范	无

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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