电子束蒸镀设备招标预告
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电子束蒸镀设备招标预告
| 电子束蒸镀设备 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr*年8至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr* |
| 采购项目名称： | 电子束蒸镀设备 |
| 预算金额： | 330.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他电气设备 |
| 采购需求概况 ： | 电子束蒸镀是在高真空环境中采用蒸发的物理方法，将靶材气化成气态分子、原子或离子，从而在衬底表面沉积具有某种特定功能的高质量薄膜制备技术。电子束蒸镀属于物理气相沉积（Physical Vapor Deposition）技术的一种，制备出的薄膜具有化学性能稳定、热稳定性好、强度高、硬度大、组织结构致密等优点。该设备属于半导体制造工艺的核心设备之一。 |
| 预计采购时间： | 2023-09 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 电子束蒸镀设备 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr*年8至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr* |
| 采购项目名称： | 电子束蒸镀设备 |
| 预算金额： | 330.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他电气设备 |
| 采购需求概况 ： | 电子束蒸镀是在高真空环境中采用蒸发的物理方法，将靶材气化成气态分子、原子或离子，从而在衬底表面沉积具有某种特定功能的高质量薄膜制备技术。电子束蒸镀属于物理气相沉积（Physical Vapor Deposition）技术的一种，制备出的薄膜具有化学性能稳定、热稳定性好、强度高、硬度大、组织结构致密等优点。该设备属于半导体制造工艺的核心设备之一。 |
| 预计采购时间： | 2023-09 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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