上海大学2024年03月政府采购意向-晶圆级原子力显微成像设备
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上海大学2024年03月政府采购意向-晶圆级原子力显微成像设备
| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 预算金额（元） | 预计采购时间（填写到月） | 备注 |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 晶圆级原子力显微成像设备 | （1） 可自动测样品尺寸：200 mm×200 mm。 （2）需是无串扰和曲面效应的平板扫描器，且扫描范围不小于100 μm×100 μm×15 μm。（3）Z向闭环扫描噪声小于0.03 nm。（4）扫描结果无需多阶展平，数据真实，一致性好。（5）可以测量微纳结构侧壁粗糙度以及侧壁倾斜角。（6）货期8个月以内，质保至少12个月 | *.00 | 2024-03 |
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| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 预算金额（元） | 预计采购时间（填写到月） | 备注 |
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| 1 | 晶圆级原子力显微成像设备 | （1） 可自动测样品尺寸：200 mm×200 mm。 （2）需是无串扰和曲面效应的平板扫描器，且扫描范围不小于100 μm×100 μm×15 μm。（3）Z向闭环扫描噪声小于0.03 nm。（4）扫描结果无需多阶展平，数据真实，一致性好。（5）可以测量微纳结构侧壁粗糙度以及侧壁倾斜角。（6）货期8个月以内，质保至少12个月 | *.00 | 2024-03 |
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