上海大学2024年03月政府采购意向-高真空磁控物理气相沉积镀膜设备-采招网

上海大学2024年03月政府采购意向-高真空磁控物理气相沉积镀膜设备

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上海大学2024年03月政府采购意向-高真空磁控物理气相沉积镀膜设备

为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将 上海大学2023年3月采购意向公开 如下：

序号	采购项目名称	采购需求概况	预算金额（元）	预计采购时间（填写到月）	备注
1	高真空磁控物理气相沉积镀膜设备	（1）装片腔极限真空度≤40 Pa，工艺腔须优于1×10E-4 Pa。（2）工艺腔室中靶材与基片溅射距离可通过程序自动设定，调整范围60-180 mm可调；（3）需至少配置1台RF电源和2台DC电源，RF电源最大功率不低于1 kW，DC电源最大功率不低于2 kW；（4）成膜均一性要求：片内、片间成膜厚度均匀性≤±5%；成膜厚度重复性≤±5%。（5）货期14个月以内，质保至少12个月。	*.00	2024-03

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

上海大学

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序号	采购项目名称	采购需求概况	预算金额（元）	预计采购时间（填写到月）	备注
1	高真空磁控物理气相沉积镀膜设备	（1）装片腔极限真空度≤40 Pa，工艺腔须优于1×10E-4 Pa。（2）工艺腔室中靶材与基片溅射距离可通过程序自动设定，调整范围60-180 mm可调；（3）需至少配置1台RF电源和2台DC电源，RF电源最大功率不低于1 kW，DC电源最大功率不低于2 kW；（4）成膜均一性要求：片内、片间成膜厚度均匀性≤±5%；成膜厚度重复性≤±5%。（5）货期14个月以内，质保至少12个月。	*.00	2024-03

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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