信息工程学院飞秒激光多功能双光束超分辨纳米直写光刻系统等政府采购意向公告
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信息工程学院飞秒激光多功能双光束超分辨纳米直写光刻系统等政府采购意向公告
为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将（ (略) ） 2023年 09 （至） 10 月采购意向公开如下：
序号 | 采购项目 名称 | 采购需求概况 | 预算金额 （万元） | 预计采购时间 （填写到月） | 备注 |
1 | 飞秒激光多功能双光束超分辨纳米直写光刻系统 | 1、适配飞秒激光光源，光源基本参数包括： A）中心波长517±5nm； 2、设备提供加工操作软件和数据处理算法软件。软件既能支持光纤光栅加工，也能支持双光束超分辨直写。 3. 在光纤光栅加工时，支持划点和划线加工，点线间距、光栅周期可任意配置等功能。 | 320 | 2023年09月 | 无 |
2 | L波段可调谐光源阵列 | 1. 波长调谐范围(nm）: 186.35—191.10THz 2. 1568.77—1608.76nm 3. 通道数：40 4. 单通道输出光功率(dBm): 10~15.5 5. 单通道功率调节步进(dB): 0.01 6. 单通道线宽(KHz): 100 7. 波长稳定性(GHz): ±2.5 8. 光功率稳定性(dB): 0.1~1.0 9. 工作温度范围 （℃）-10 ~﹢45 10. 电源 AC 220V 11. 尾纤类型：SMF (9/125um) 12. 光接口： LC / PC 型适配器 13. 显示方式: LCD 液晶触控显示 | 90 | 2023年09月 | 无 |
3 | 晶圆划裂片系统 | (1)工作波长：1528.4-1566。9nm (2)通道带宽：6.25 GHz (3)0.5 dB通道带宽：± (6.25n-10) GHz (4)3dB通道带宽：± (6.25n-5) GHz （5）插损：小于等于6.5dB （6）衰减设置时间：≤1000ms (7)开关时间：≤1500ms | 160 | 2023年10月 | 无 |
4 | 电子束蒸发镀膜机 | 1.电子束与热阻蒸镀； 2.溅射室极限真空度：≤6×10-5Pa 3.溅射室25分钟可达到5×10-4 Pa 4.系统停泵关机12小时后真空度：≤5Pa 5.真空室尺寸：500×500×600mm 6.基片尺寸：φ4英寸 7.基片转速：5～20 转/分，可连续回转 8.样品托：2个 9.基片与蒸发源距离：300～400mm，可电动调节 | 180 | 2023年10月 | 无 |
5 | 多路光电信号测试系统 | 1．主机4通道（同时）的模拟带宽20GHz 2．采样率40GS/s （4通道），80GS/s （2通道） 3. 本底噪声（50mV/div）: <0.3925% 4. 垂直分辨率：8bit 5. 存储深度： 64M（4通道）， 128M（2通道） 6. 信号输入接口：50欧姆； 1M欧姆 7. DC增益精度：1.5% | 100 | 2023年10月 | 无 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将（ (略) ） 2023年 09 （至） 10 月采购意向公开如下：
序号 | 采购项目 名称 | 采购需求概况 | 预算金额 （万元） | 预计采购时间 （填写到月） | 备注 |
1 | 飞秒激光多功能双光束超分辨纳米直写光刻系统 | 1、适配飞秒激光光源，光源基本参数包括： A）中心波长517±5nm； 2、设备提供加工操作软件和数据处理算法软件。软件既能支持光纤光栅加工，也能支持双光束超分辨直写。 3. 在光纤光栅加工时，支持划点和划线加工，点线间距、光栅周期可任意配置等功能。 | 320 | 2023年09月 | 无 |
2 | L波段可调谐光源阵列 | 1. 波长调谐范围(nm）: 186.35—191.10THz 2. 1568.77—1608.76nm 3. 通道数：40 4. 单通道输出光功率(dBm): 10~15.5 5. 单通道功率调节步进(dB): 0.01 6. 单通道线宽(KHz): 100 7. 波长稳定性(GHz): ±2.5 8. 光功率稳定性(dB): 0.1~1.0 9. 工作温度范围 （℃）-10 ~﹢45 10. 电源 AC 220V 11. 尾纤类型：SMF (9/125um) 12. 光接口： LC / PC 型适配器 13. 显示方式: LCD 液晶触控显示 | 90 | 2023年09月 | 无 |
3 | 晶圆划裂片系统 | (1)工作波长：1528.4-1566。9nm (2)通道带宽：6.25 GHz (3)0.5 dB通道带宽：± (6.25n-10) GHz (4)3dB通道带宽：± (6.25n-5) GHz （5）插损：小于等于6.5dB （6）衰减设置时间：≤1000ms (7)开关时间：≤1500ms | 160 | 2023年10月 | 无 |
4 | 电子束蒸发镀膜机 | 1.电子束与热阻蒸镀； 2.溅射室极限真空度：≤6×10-5Pa 3.溅射室25分钟可达到5×10-4 Pa 4.系统停泵关机12小时后真空度：≤5Pa 5.真空室尺寸：500×500×600mm 6.基片尺寸：φ4英寸 7.基片转速：5～20 转/分，可连续回转 8.样品托：2个 9.基片与蒸发源距离：300～400mm，可电动调节 | 180 | 2023年10月 | 无 |
5 | 多路光电信号测试系统 | 1．主机4通道（同时）的模拟带宽20GHz 2．采样率40GS/s （4通道），80GS/s （2通道） 3. 本底噪声（50mV/div）: <0.3925% 4. 垂直分辨率：8bit 5. 存储深度： 64M（4通道）， 128M（2通道） 6. 信号输入接口：50欧姆； 1M欧姆 7. DC增益精度：1.5% | 100 | 2023年10月 | 无 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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