A*光学计量仪器

一、采购项目名称：高性能激光干涉测量系统二、设备的功能和技术指标：1、设备功能1）一次安装同步测量机床移动轴定位误差、直线度（两项）、角摆（三项）6自由度误差项，分析定位误差及直线度误差来源。2）动态采集机床移动轴直线度。3）具备机床旋转轴角度定位误差测试功能。2、主要技术指标1）线性误差：测量精度±0.5ppm，分辨率1nm，测量范围0m至4m；2）直线度：测量精度±0.01A/±2μm(A直线度读数)，分辨率0.25μm，测量范围250μm；3）角度（俯仰/扭摆）：测量精度±0.006A/±(0.5微弧度+0.1M微弧度)(M测量距离，单位：米)(A角度读数)，分辨率0.03微弧度，测量范围±500微弧度；4）滚摆：测量精度±0.01A±9.1微弧度(A角度读数)，分辨率0.5微弧度，测量范围±500微弧度；5）回转轴定位误差：测量精度±1角秒。三、多光束激光干涉测量系统型号XM-60，采购1台四、产品按合同规定由厂家提供售后质保服务以及售后产品运行与产品维护服务，条件允许情况下，期望产品尽快到货。

A*光学计量仪器

一、采购项目名称：高性能激光干涉测量系统二、设备的功能和技术指标：1、设备功能1）一次安装同步测量机床移动轴定位误差、直线度（两项）、角摆（三项）6自由度误差项，分析定位误差及直线度误差来源。2）动态采集机床移动轴直线度。3）具备机床旋转轴角度定位误差测试功能。2、主要技术指标1）线性误差：测量精度±0.5ppm，分辨率1nm，测量范围0m至4m；2）直线度：测量精度±0.01A/±2μm(A直线度读数)，分辨率0.25μm，测量范围250μm；3）角度（俯仰/扭摆）：测量精度±0.006A/±(0.5微弧度+0.1M微弧度)(M测量距离，单位：米)(A角度读数)，分辨率0.03微弧度，测量范围±500微弧度；4）滚摆：测量精度±0.01A±9.1微弧度(A角度读数)，分辨率0.5微弧度，测量范围±500微弧度；5）回转轴定位误差：测量精度±1角秒。三、多光束激光干涉测量系统型号XM-60，采购1台四、产品按合同规定由厂家提供售后质保服务以及售后产品运行与产品维护服务，条件允许情况下，期望产品尽快到货。