厦门大学2023年10至12月政府采购意向-氯基感应耦合等离子体刻蚀机-A货物类,电气物理设备-预算金额万元人民币
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厦门大学2023年10至12月政府采购意向-氯基感应耦合等离子体刻蚀机-A货物类,电气物理设备-预算金额万元人民币
| 氯基感应耦合等离子体刻蚀机 | |
| 项目所在采购意向： | 厦门大学2023年10至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 厦门大学 |
| 采购项目名称： | 氯基感应耦合等离子体刻蚀机 |
| 预算金额： | 112.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A货物类,A*电气物理设备 |
| 采购需求概况： | 本实验室专门研究宽禁带半导体光电器件，并且承担了国家、省、市重大课题，将为国家培养许多硕博人才。课题常用GaN材料，经过调研，对于GaN材料，需要采用氯基强腐蚀气体的刻蚀，才可以得到各向异性、刻蚀陡直的良好效果。拟购买的ICP设备具备第三代半导体材料的刻蚀能力，可以解决第三代半导体光电器件、功率器件、电子器件的工艺制作问题。需求采购氯基感应耦合等离子体刻蚀机1台，该设备在刻蚀均匀性、质保、售后服务都需达到基本要求。 |
| 预计采购时间： | 2023-10 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 氯基感应耦合等离子体刻蚀机 | |
| 项目所在采购意向： | 厦门大学2023年10至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 厦门大学 |
| 采购项目名称： | 氯基感应耦合等离子体刻蚀机 |
| 预算金额： | 112.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A货物类,A*电气物理设备 |
| 采购需求概况： | 本实验室专门研究宽禁带半导体光电器件，并且承担了国家、省、市重大课题，将为国家培养许多硕博人才。课题常用GaN材料，经过调研，对于GaN材料，需要采用氯基强腐蚀气体的刻蚀，才可以得到各向异性、刻蚀陡直的良好效果。拟购买的ICP设备具备第三代半导体材料的刻蚀能力，可以解决第三代半导体光电器件、功率器件、电子器件的工艺制作问题。需求采购氯基感应耦合等离子体刻蚀机1台，该设备在刻蚀均匀性、质保、售后服务都需达到基本要求。 |
| 预计采购时间： | 2023-10 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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