为便于供应商及时了解采购信息，现将我校快速采购意向公开如下：

1、项目概况：

（1）拟采购方式：上大迅采

（2）采购项目名称：磁控溅射镀膜机

（3）预算金额：42万元

（4）采购需求概况：

磁控溅射镀膜机，1套。用于半导体器件镀膜。极限真空度≤6.7×10-5 Pa。系统漏率≤5×10-7Pa.l/s。系统停泵关机后12小时后，真空度≤5Pa。系统充干燥N2解除真空，短时暴露大气后抽气至9×10-4Pa≤35min。电源功率：直流不小于1000W ，射频不小于600W，偏压电源不小于-300V。溅射不均匀性≤±5％（Φ8英寸范围内）。样品加热≥600℃，控温精度1℃，温度均匀性±1%。样品台旋转：0-30rmp，转速连续可调。供货周期自合同签订后3个月内，质保期不低于1年。

（5）预计采购时间：2023年10月

（6）采购意向公示时间：2023-09-25 ~ 2023-09-30

2、联系方式：

采购人名称：上海大学

联系地址： (略) 上大路99号

用户单位联系人：李意

联系电话：*

采购代理机构：上海 (略)

联系人：葛文龙

联系电话：*-8015

联系地址： (略) 杨浦区国霞路458弄2号11楼

采招办监督员：谢金印

监督电话：021-6613 0721

本次公开的采购意向是本单位采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

为便于供应商及时了解采购信息，现将我校快速采购意向公开如下：

1、项目概况：

（1）拟采购方式：上大迅采

（2）采购项目名称：磁控溅射镀膜机

（3）预算金额：42万元

（4）采购需求概况：

磁控溅射镀膜机，1套。用于半导体器件镀膜。极限真空度≤6.7×10-5 Pa。系统漏率≤5×10-7Pa.l/s。系统停泵关机后12小时后，真空度≤5Pa。系统充干燥N2解除真空，短时暴露大气后抽气至9×10-4Pa≤35min。电源功率：直流不小于1000W ，射频不小于600W，偏压电源不小于-300V。溅射不均匀性≤±5％（Φ8英寸范围内）。样品加热≥600℃，控温精度1℃，温度均匀性±1%。样品台旋转：0-30rmp，转速连续可调。供货周期自合同签订后3个月内，质保期不低于1年。

（5）预计采购时间：2023年10月

（6）采购意向公示时间：2023-09-25 ~ 2023-09-30

2、联系方式：

采购人名称：上海大学

联系地址： (略) 上大路99号

用户单位联系人：李意

联系电话：*

采购代理机构：上海 (略)

联系人：葛文龙

联系电话：*-8015

联系地址： (略) 杨浦区国霞路458弄2号11楼

采招办监督员：谢金印

监督电话：021-6613 0721

本次公开的采购意向是本单位采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。