浙江大学温州研究院2023年9月政府采购意向-氧化物分子束外延系统
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浙江大学温州研究院2023年9月政府采购意向-氧化物分子束外延系统
浙江大 (略) 2023年9月政府采购意向
| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 预算金额（元） | 预计采购时间（填写到月） | 落实政府采购政策功能情况 | 备注 |
| 1 | 氧化物分子束外延系统 | 配备快速进样腔、预处理腔、传样腔、氧化物和其它化合物2套生长腔体，快速进样腔、预处理腔本底真空好于5×10-8 mbar；传样腔和生长腔本底真空优于5×10-10 mbar；超高真空氧化物生长腔配备真空差分腔体满足差分需要和蒸发源换料需求；超高真空分子束外延生长腔在经充分烘烤后，本底真空好于5×10-10 mbar；传样机械臂可360°连续旋转；超高真空4轴样品操纵台可装2inch样品托（兼容小尺寸），样品托加热温度不低于 1100 K； 配备红外测温仪、反射式高能电子衍射仪、质谱仪、离子枪、高束流射频等离子源、超高纯臭氧系统等；红外测温仪模块可测温范围不劣于：100 – 1200°C，光学分辨率不劣于：150:1；反射式高能电子衍射仪能量范围不低于500 eV - 15 keV，电子束流不低于100μA，电子束斑尺寸不劣于：50 μm - 150 mm；质谱仪测量范围不劣于：0 – 100 amu；离子枪能量调节范围不劣于：0.1 – 3 keV；高束流射频等离子源射频可调范围不劣于：1~500 W；液化型超高纯臭氧系统制备的臭氧浓度不劣于99.5%，臭氧发生器最大臭氧产率不低于：20 g/h，臭氧发生器最大臭氧浓度不低于：15%，液化池温控精度不劣于±0.1 K，提纯过程中臭氧液化效率不低于80%。 | * | 2023年11月 |
浙江大 (略) 2023年9月政府采购意向
| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 预算金额（元） | 预计采购时间（填写到月） | 落实政府采购政策功能情况 | 备注 |
| 1 | 氧化物分子束外延系统 | 配备快速进样腔、预处理腔、传样腔、氧化物和其它化合物2套生长腔体，快速进样腔、预处理腔本底真空好于5×10-8 mbar；传样腔和生长腔本底真空优于5×10-10 mbar；超高真空氧化物生长腔配备真空差分腔体满足差分需要和蒸发源换料需求；超高真空分子束外延生长腔在经充分烘烤后，本底真空好于5×10-10 mbar；传样机械臂可360°连续旋转；超高真空4轴样品操纵台可装2inch样品托（兼容小尺寸），样品托加热温度不低于 1100 K； 配备红外测温仪、反射式高能电子衍射仪、质谱仪、离子枪、高束流射频等离子源、超高纯臭氧系统等；红外测温仪模块可测温范围不劣于：100 – 1200°C，光学分辨率不劣于：150:1；反射式高能电子衍射仪能量范围不低于500 eV - 15 keV，电子束流不低于100μA，电子束斑尺寸不劣于：50 μm - 150 mm；质谱仪测量范围不劣于：0 – 100 amu；离子枪能量调节范围不劣于：0.1 – 3 keV；高束流射频等离子源射频可调范围不劣于：1~500 W；液化型超高纯臭氧系统制备的臭氧浓度不劣于99.5%，臭氧发生器最大臭氧产率不低于：20 g/h，臭氧发生器最大臭氧浓度不低于：15%，液化池温控精度不劣于±0.1 K，提纯过程中臭氧液化效率不低于80%。 | * | 2023年11月 |
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