南京大学2023年10月政府采购意向-半自动真空探针台及测试系统半导体器件参数测量仪-预算金额万元人民币
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南京大学2023年10月政府采购意向-半自动真空探针台及测试系统半导体器件参数测量仪-预算金额万元人民币
| 半自动真空探针台及测试系统 | |
| 项目所在采购意向： | 南京大学2023年10月政府采购意向 |
| 采购单位： | 南京大学 |
| 采购项目名称： | 半自动真空探针台及测试系统 |
| 预算金额： | 950.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A* 半导体器件参数测量仪 |
| 采购需求概况： | 南京大学拟采购半自动真空探针台及测试系统一套，由探针台主机、图像显微装置、真空腔室、电学测试仪器等部件组成，用于测试8英寸及以下晶圆、单粒半导体器件和纳米器件的电学综合性能。主要参数要求如下：1.系统满足8英寸射频、低噪声直流以及真空环境要求下的晶圆自动化测试，温度范围-60℃-200℃。2.系统可提供最低1*10E-5 mBar真空度测试环境。3.配置射频探针座两套及万向悬架馈通套杆组件；其中针座放置在真空腔体内，可在真空腔体外操作调节XYZ行程，XYZ移动行程≥12mm*12mm*8mm。4.配置*套直流针座及万向悬架馈通套杆；其中针座放置在真空腔体内，可在真空腔体外操作调节XYZ行程，XYZ行程≥12mm*12mm*8mm。5.配置探针台控制软件。6.设备质保期：*年。 |
| 预计采购时间： | 2023-10 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 半自动真空探针台及测试系统 | |
| 项目所在采购意向： | 南京大学2023年10月政府采购意向 |
| 采购单位： | 南京大学 |
| 采购项目名称： | 半自动真空探针台及测试系统 |
| 预算金额： | 950.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A* 半导体器件参数测量仪 |
| 采购需求概况： | 南京大学拟采购半自动真空探针台及测试系统一套，由探针台主机、图像显微装置、真空腔室、电学测试仪器等部件组成，用于测试8英寸及以下晶圆、单粒半导体器件和纳米器件的电学综合性能。主要参数要求如下：1.系统满足8英寸射频、低噪声直流以及真空环境要求下的晶圆自动化测试，温度范围-60℃-200℃。2.系统可提供最低1*10E-5 mBar真空度测试环境。3.配置射频探针座两套及万向悬架馈通套杆组件；其中针座放置在真空腔体内，可在真空腔体外操作调节XYZ行程，XYZ移动行程≥12mm*12mm*8mm。4.配置*套直流针座及万向悬架馈通套杆；其中针座放置在真空腔体内，可在真空腔体外操作调节XYZ行程，XYZ行程≥12mm*12mm*8mm。5.配置探针台控制软件。6.设备质保期：*年。 |
| 预计采购时间： | 2023-10 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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