A*激光仪器

拟购置1套飞秒激光微加工系统，为微尺度传输研究方向提供重要的材料高精度微纳加工手段，以直接获取超微精细化结构，从而解决微纳结构加工技术对于微尺度实验研究方面的限制问题。拟购设备期望满足以下要求：？激光器：紫外/绿光/红外光？激光波长：350 nm/515 nm/1030 nm±10 nm？激光频率范围：20~1000 kHz？激光平均输出功率：不小于10W？单脉冲波长：不小于100 uJ？脉冲宽度：不大于 300 fs，在300fs-10ps范围内可调？加工幅面:不小于100 mm×100 mm？最小聚焦光斑：小于500 nm？最大速度:大于10 mm/s？整机精度：小于1 μm？最小间距线：小于500 nm？工作台定位精度：小于±100 nm？工作台重复精度：小于±700 nm？CCD自动定位：±5 μm？整机功率消耗:小于6000W？物镜模组：包含进口物镜5X,10X, 20X各一套所采购设备必须满足以上指标，并且提供激光防护设备及相关配套设备。具体事宜由成交供应商按采购人指定地点及时间安排要求执行。

A*激光仪器

拟购置1套飞秒激光微加工系统，为微尺度传输研究方向提供重要的材料高精度微纳加工手段，以直接获取超微精细化结构，从而解决微纳结构加工技术对于微尺度实验研究方面的限制问题。拟购设备期望满足以下要求：？激光器：紫外/绿光/红外光？激光波长：350 nm/515 nm/1030 nm±10 nm？激光频率范围：20~1000 kHz？激光平均输出功率：不小于10W？单脉冲波长：不小于100 uJ？脉冲宽度：不大于 300 fs，在300fs-10ps范围内可调？加工幅面:不小于100 mm×100 mm？最小聚焦光斑：小于500 nm？最大速度:大于10 mm/s？整机精度：小于1 μm？最小间距线：小于500 nm？工作台定位精度：小于±100 nm？工作台重复精度：小于±700 nm？CCD自动定位：±5 μm？整机功率消耗:小于6000W？物镜模组：包含进口物镜5X,10X, 20X各一套所采购设备必须满足以上指标，并且提供激光防护设备及相关配套设备。具体事宜由成交供应商按采购人指定地点及时间安排要求执行。