年10至12月政府意向-干法刻蚀设备其他电气设备-预算金额万元人民币招标预告
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年10至12月政府意向-干法刻蚀设备其他电气设备-预算金额万元人民币招标预告
| 干法刻蚀设备 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr*年10至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr* |
| 采购项目名称： | 干法刻蚀设备 |
| 预算金额： | 480.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他电气设备 |
| 采购需求概况 ： | 本次采购的一台等离子干法刻蚀设备是电感耦合等离子体(ICP)刻蚀设备，其原理是将射频电源的能量经由电感线圈,以磁场耦合的形式进入反应腔内部,从而产生等离子体并用于刻蚀的设备。其刻蚀原理也属于广义的反应离子刻蚀。 |
| 预计采购时间： | 2023-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 干法刻蚀设备 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr*年10至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr* |
| 采购项目名称： | 干法刻蚀设备 |
| 预算金额： | 480.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他电气设备 |
| 采购需求概况 ： | 本次采购的一台等离子干法刻蚀设备是电感耦合等离子体(ICP)刻蚀设备，其原理是将射频电源的能量经由电感线圈,以磁场耦合的形式进入反应腔内部,从而产生等离子体并用于刻蚀的设备。其刻蚀原理也属于广义的反应离子刻蚀。 |
| 预计采购时间： | 2023-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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