年10至12月政府意向-等离子干法刻蚀设备其他电气设备-预算金额万元人民币招标预告

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年10至12月政府意向-等离子干法刻蚀设备其他电气设备-预算金额万元人民币招标预告

等离子干法刻蚀设备
项目所在采购意向:zycgr*年10至12月政府采购意向
采购单位:zycgr*
采购项目名称:等离子干法刻蚀设备
预算金额:480.*万元(人民币)
采购品目:
A*其他电气设备
采购需求概况 :
本次采购的一台干法刻蚀设备为电感耦合等离子体(ICP)刻蚀设备,是一种将射频电源的能量经由电感线圈,以磁场耦合的形式进入反应腔内部,从而产生等离子体并用于刻蚀的设备。
预计采购时间:2023-11
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

等离子干法刻蚀设备
项目所在采购意向:zycgr*年10至12月政府采购意向
采购单位:zycgr*
采购项目名称:等离子干法刻蚀设备
预算金额:480.*万元(人民币)
采购品目:
A*其他电气设备
采购需求概况 :
本次采购的一台干法刻蚀设备为电感耦合等离子体(ICP)刻蚀设备,是一种将射频电源的能量经由电感线圈,以磁场耦合的形式进入反应腔内部,从而产生等离子体并用于刻蚀的设备。
预计采购时间:2023-11
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

    
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