年10至12月政府意向-薄膜刻蚀设备其他电气设备-预算金额万元人民币招标预告
年10至12月政府意向-薄膜刻蚀设备其他电气设备-预算金额万元人民币招标预告
薄膜刻蚀设备 | |
项目所在采购意向: | zycgr*年10至12月政府采购意向 |
采购单位: | zycgr* |
采购项目名称: | 薄膜刻蚀设备 |
预算金额: | 410.*万元(人民币) |
采购品目: | A*其他电气设备 |
采购需求概况 : | 薄膜刻蚀设备原理是将射频电源的能量经由电感线圈,以磁场耦合的形式进入反应腔内部,从而产生等离子体并用于刻蚀的设备。等离子刻蚀技术是微细加工技术的重要组成部分,是化学过程和物理过程共同作用的结果。主要用于半导体材料微细图形干法刻蚀,可以刻蚀多种化合物。 |
预计采购时间: | 2023-11 |
备注: |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
薄膜刻蚀设备 | |
项目所在采购意向: | zycgr*年10至12月政府采购意向 |
采购单位: | zycgr* |
采购项目名称: | 薄膜刻蚀设备 |
预算金额: | 410.*万元(人民币) |
采购品目: | A*其他电气设备 |
采购需求概况 : | 薄膜刻蚀设备原理是将射频电源的能量经由电感线圈,以磁场耦合的形式进入反应腔内部,从而产生等离子体并用于刻蚀的设备。等离子刻蚀技术是微细加工技术的重要组成部分,是化学过程和物理过程共同作用的结果。主要用于半导体材料微细图形干法刻蚀,可以刻蚀多种化合物。 |
预计采购时间: | 2023-11 |
备注: |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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