国科大杭州高等研究院2023年10月至12月政府采购意向-激光直写曝光系统-采招网

国科大杭州高等研究院2023年10月至12月政府采购意向-激光直写曝光系统

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国科大杭州高等研究院2023年10月至12月政府采购意向-激光直写曝光系统

国科大杭 (略) 2023年10月至12月政府采购意向

为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将 国科大杭 (略) 2023年10月至12月采购意向公开 如下：

序号	采购项目名称	采购需求概况	预算金额（元）	预计采购时间（填写到月）	落实政府采购政策功能情况	备注
1	激光直写曝光系统	拟采购的微纳结构加工系统采用聚焦光斑直写式工作模式，其无需物理掩膜版，实验灵活高效，同时直写分辨率可达到0.3μm的精细特征尺寸，可同时满足实验效率及灵活性，以及加工精度的要求。主要指标：1、光源：405nm 激光器；2、最小分辨率300nm；3、线宽均匀性不大于 200nm；4、边缘粗糙度不大于 100nm；5、最大曝光面积不小于 100mm×100mm；6、支持基板尺寸范围：5mm×5mm~125mm×125mm；7、自动聚焦：红外自动光学聚焦，光刻过程中能实时聚焦；8、支持 4096 阶灰度曝光功能；9、支持多层套刻，套刻对准精度不大于 500nm；10、支持多种光刻精度自动切换（300nm、600nm、900nm），无需手动更换光学镜头，软件控制自动切换；11、无需物理掩膜板。	*	2023年12月		杨老师：*

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

国科大杭 (略)

国科大杭 (略) 2023年10月至12月政府采购意向

序号	采购项目名称	采购需求概况	预算金额（元）	预计采购时间（填写到月）	落实政府采购政策功能情况	备注
1	激光直写曝光系统	拟采购的微纳结构加工系统采用聚焦光斑直写式工作模式，其无需物理掩膜版，实验灵活高效，同时直写分辨率可达到0.3μm的精细特征尺寸，可同时满足实验效率及灵活性，以及加工精度的要求。主要指标：1、光源：405nm 激光器；2、最小分辨率300nm；3、线宽均匀性不大于 200nm；4、边缘粗糙度不大于 100nm；5、最大曝光面积不小于 100mm×100mm；6、支持基板尺寸范围：5mm×5mm~125mm×125mm；7、自动聚焦：红外自动光学聚焦，光刻过程中能实时聚焦；8、支持 4096 阶灰度曝光功能；9、支持多层套刻，套刻对准精度不大于 500nm；10、支持多种光刻精度自动切换（300nm、600nm、900nm），无需手动更换光学镜头，软件控制自动切换；11、无需物理掩膜板。	*	2023年12月		杨老师：*

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

国科大杭 (略)

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