上海交通大学2023年11至12月政府采购意向-高导低损碳/铜复合薄膜变温镀膜一体化连续制造系统真空应用设备-预算金额万元人民币
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上海交通大学2023年11至12月政府采购意向-高导低损碳/铜复合薄膜变温镀膜一体化连续制造系统真空应用设备-预算金额万元人民币
| 高导低损碳/铜复合薄膜变温镀膜一体化连续制造系统 | |
| 项目所在采购意向： | 上海交通大学2023年11至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 上海交通大学 |
| 采购项目名称： | 高导低损碳/铜复合薄膜变温镀膜一体化连续制造系统 |
| 预算金额： | 490.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*真空应用设备 |
| 采购需求概况： | 由磁控溅射腔体、等离子体增强化学气相沉积腔体和进样室组成，各腔体独立间隔且样品在真空条件下传递1.★极限真空度：≤1×10-5 Pa，所需时间：≤1h2.★目标材料：金属，硬质薄膜，氮化物，氧化物3.厚度均匀性：≤1%4.目标厚度：0.1-30μm5.★靶材可移动，范围50-150mm，靶枪辉光区域可移动6.样品尺寸：3-6寸7.★样品台立式放置，在垂直于溅射方向水平移动范围：±60mm，同时样品自转（转速在1-10rpm内可调）8.★加热温度：≤800℃9.★温度均匀性：±2℃10.控温精度：≤2°11.★温度均匀区：≥Φ300mm×300mm12.★进气系统：数字式流量计匀气装置； 13.工艺气体：Ar，N2，O214.流量范围：0-100 SCCM15.靶材制冷：温度波动不大于±0.2℃16.★功能特性：具有PE等离子外场功能（能量范围：0-500W）17.★腔室互联：柔性无接触18.★移动速度：0-3m/s19.★负载范围：1kg-10kg20.★速度波动：±5%（20mm/s） 21.★重复定位：5μm22.★绝对定位：±300μm |
| 预计采购时间： | 2023-12 |
| 备注： | 该设备为教育部贷款贴息项目“功能金属基复合材料创新平台”（项目号：WH*）所购序号为4的设备 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 高导低损碳/铜复合薄膜变温镀膜一体化连续制造系统 | |
| 项目所在采购意向： | 上海交通大学2023年11至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 上海交通大学 |
| 采购项目名称： | 高导低损碳/铜复合薄膜变温镀膜一体化连续制造系统 |
| 预算金额： | 490.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*真空应用设备 |
| 采购需求概况： | 由磁控溅射腔体、等离子体增强化学气相沉积腔体和进样室组成，各腔体独立间隔且样品在真空条件下传递1.★极限真空度：≤1×10-5 Pa，所需时间：≤1h2.★目标材料：金属，硬质薄膜，氮化物，氧化物3.厚度均匀性：≤1%4.目标厚度：0.1-30μm5.★靶材可移动，范围50-150mm，靶枪辉光区域可移动6.样品尺寸：3-6寸7.★样品台立式放置，在垂直于溅射方向水平移动范围：±60mm，同时样品自转（转速在1-10rpm内可调）8.★加热温度：≤800℃9.★温度均匀性：±2℃10.控温精度：≤2°11.★温度均匀区：≥Φ300mm×300mm12.★进气系统：数字式流量计匀气装置； 13.工艺气体：Ar，N2，O214.流量范围：0-100 SCCM15.靶材制冷：温度波动不大于±0.2℃16.★功能特性：具有PE等离子外场功能（能量范围：0-500W）17.★腔室互联：柔性无接触18.★移动速度：0-3m/s19.★负载范围：1kg-10kg20.★速度波动：±5%（20mm/s） 21.★重复定位：5μm22.★绝对定位：±300μm |
| 预计采购时间： | 2023-12 |
| 备注： | 该设备为教育部贷款贴息项目“功能金属基复合材料创新平台”（项目号：WH*）所购序号为4的设备 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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